桌面型、可中試生產、模擬生產條件的等離子體清洗設備,幾乎具備等離子體清洗設備所有的功能。具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價比高,易維護,處理快速高效,特別適合于大學,科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。
產品特點:
u 可模擬生產條件,便于小批量中試生產。
u 桌面型,占用空間小。
u 性能穩定,操作簡便,使用成本低,易于維護,性價比高。
u 有效處理面積大,可處理8寸硅片去膠等應用。
u 可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品,進行清洗和改性。