產品應用
• 3D傳感、激光雷達、大功率激光等應用的VCSEL芯片測試
• 大功率面發射芯片的驗證測試
產品特點
• 集成自制超窄脈沖 SMU、最小脈沖到 100ns，電流 30A
• 積分球同步收光，支持短脈沖 LIV 測試和光譜測試
• 開發探針，電感系數小，支持窄脈沖大電流(最小脈沖100ns,電流30A)測試，雙探針四線法測試，探針壓力可調；探針電動滑臺控制，實現可尋址測試和多通道測試
• 支持晶圓位置識別和自動調整
• 測試載臺采用高導熱材料，TEC溫控，溫度范圍可支持25~85°C
• 支持快速光譜測試
• 支持NF均勻性與壞點檢測及M2因子，束腰
• 支持FF測試發散角測試
• 軟件支持精確定位圖、坐標數據生成，數據庫自動存儲數據及圖片
| 參 數 | 指 標 |
| 適合Wafer尺寸 | 2寸、4寸和6寸 |
| 芯片加電方式 | 支持同面和異面類型的VCSEL加電 |
| 脈沖電流輸出 | 范圍0-30A，精度0.5%rdg±250mA，最小脈寬100ns，Duty cycle:大于等于1A電流為<0.1%, 小于1A電流為<50% |
| 電壓測量 | 范圍0-40V，精度0.5%rdg±250mV |
| 功率測試 | 采用積分球收光，范圍0-200W，精度0.5% FS±10mW |
| 波長范圍 | 400-1100 nm，其他波長支持定制 |
| 輸出特性曲線 | (1)LIV特性曲線 (2) 光譜曲線 |
| LIV測試參數 | Ith，V，Ir，SE，Rs，P，PCE，Wavelength，FWHM等 |
| 近場測試參數 | 發光孔數，暗壞點、一致性，另可定制M2、孔發散角、束腰測試功能 |
| 遠場測試參數 | 發散角(1/e²，D86,D50)、DIP |
| 光譜參數 | λｐ 峰值波長 |
| 可尋址功能 | 探針電動滑臺控制，實現可尋址測試。 |
| 激光測距 | 激光測距用于對Chuck和晶圓進行測高找平，精度≤1um。 |
| 測試臺溫控范圍 | 25～85℃，穩定性<±1℃ |
| 設備尺寸 | 不含信號燈及顯示器，1250mm(深)×1100mm(寬)×1750mm(高) |
| 氣源要求 | 正壓：無 負壓：≦-80KPa |
| 電源 | AC 220V/16A 50Hz |
