產品應用
• 光通信等應用的VCSEL芯片測試
• 小功率面發射芯片的驗證測試
產品特點
• 集成自制LIV綜合測試儀,小電流擋位精度高,支持LIV測試
• 積分球同步收光,支持 LIV 測試和光譜測試
• 探針臂,針壓可調,最小調到1g,壓力穩定性在±0.1g以內,探針安裝帶限位功能
• 支持晶圓位置識別和自動調整
• 測試載臺采用高導熱材料,TEC溫控,溫度范圍可支持25~85°C
• 支持快速光譜測試
• 軟件支持精確定位圖、坐標數據生成,數據庫自動存儲數據及圖片
參 數 | 指 標 |
適合Wafer尺寸 | 2寸、4寸和6寸 |
芯片加電方式 | 支持同面和異面類型的VCSEL加電 |
電流范圍 | 范圍0-500mA |
電流輸出和測量精度 | 0~20mA:0.1%FS±0.1mA 0~100mA:0.1%FS±0.1mA 0~250mA:0.1%FS±0.25mA 0~500mA:0.1%FS±0.5mA |
電流加電方式 | 支持連續電流掃描,和脈沖加電:脈寬200us~650ms,周期2ms~6s,同步輸出觸發信號 |
前光功率 | 范圍0-500mW,精度0.1%FS±50uW |
正向電壓 | 范圍0-5V,精度0.5%±50mV |
波長范圍 | 800-1700 nm,其他波長支持定制 |
測試臺溫控范圍 | 25~85℃,穩定性<±1℃ |
設備尺寸 | 不含信號燈及顯示器,1250mm(深)×1100mm(寬)×1750mm(高) |
氣源要求 | 正壓:無 負壓:≦-80KPa |