速度提升1.5倍
UVISEL Plus集成了的FastAcqTM快速采集技術,可在3分鐘以內實現高分辨的樣品測試(190-2100 nm),校準僅需幾分鐘。
靈敏度提升2倍
基于25年經驗,UVISEL Plus相位調制橢偏儀提供純正有效的偏振調制,可用于各種樣品的精確測量,的FastAcqTM速采集技術使得測試靈敏度提高至原有的兩倍,從而能獲得面薄膜和納米級低襯度襯底樣品的更多信息。
靈活拓展
UVISEL Plus橢偏儀模塊化設計,可靈活拓展,以適應的應用及預算需求。相較于其他供應商,UVISEL Plus統的可升級性能將更好的滿足您未來的應用需求。

優質的性能
UVISEL Plus基于相位調制技術,相位調制與高質量消色差光學設計的結合提供了無可匹的膜厚測試效果。
?信號采集過程無移動部件
?光路中無增加元件
?高頻調制 50 kHz
?測試全范圍的橢偏角,Ψ (0-90,Δ (0-360)