TMAH濃度計監測儀HE-960H-TM
TMAH濃度計監測儀HE-960H-TM適用于顯影液中TMAH的濃度管理HE-960TM可精確測量半導體和液晶生產中光阻顯影藥液制程中主要成份TMAH (四甲基氫氧化銨)的濃度。傳感器具有寬泛的量程和高耐藥性。4-極式炭質傳感器具有顯著的耐藥性。
其對偶電路和軟件與4-極式炭質傳感器相結合測量范圍可達0至1000mS/cm而無需切換。由于具有兩種濃度轉換功能，所以可將其作為過程濃度計使用，也可監測特定化學藥液中的濃度變化。
特征
- 大量程適用
自動小數點位調整能夠測量的TMAH量程從0.000至10.00%。
- 自動顯示范圍切換
從高至低濃度顯示范圍自動切換。當維持有效的電導率分辨率是也可使用該產監測變化
- 可測3種數值：TMAH濃度值、電導率計和溫度
當基于相關溫度特性數據補償溫度時測量TMAH濃度。本機也可用于測量其它化學藥液的電導率。
- 耐藥性4-極炭質傳感器
采用了新型的使用高耐藥性玻璃碳材料的FES-510系列4-極式流通型傳.
- 4-通道傳送輸出
本機配有4個輸出通道，所以可分別用于TMAH溫度、電導率和溫度。可從2個類型的輸出電流中進行選擇：4至20 mA DC, 或 0 至 20 mA DC.
- 24 V DC 電源
