碳質探頭傳感器(高濃度型)監測儀 HE-960HC
碳質探頭傳感器(高濃度型)監測儀 HE-960HC適用于半導體和FPD生產制程中化學藥液和廢液的管理碳質探頭傳感器(高濃度型)監測儀 HE-960HC測量電導率可作為基于化學藥液和廢水管理的參數。其對偶電路和軟件與4-極式炭質傳感器相結合測量范圍可達0至1000mS/cm而無需切換。由于具有兩種濃度轉換功能，所以可將其作為過程濃度計使用，也可監測特定化學藥液中的濃度變化。
碳質探頭傳感器(高濃度型)監測儀 HE-960HC特征
- 大量程適用
zui高可測量至1000 mS/cm（溫度補償前的電導率量程）
- 自動顯示范圍切換
從高至低濃度顯示范圍自動切換。當維持有效的電導率分辨率是也可使用該產監測變化。
- 具有各種溫度補償
由于可自由設定標準溫度和溫度補償 ，溫度補償可被應用于對應液體。
- 濃度轉換功能
輸入溫度系數和濃度與電導率的關系，可進行兩種濃度轉換。
- 通訊功能 (RS-485) 為標準配置
可遠程控制主機，例如：變更設定或檢查測量值
- 耐藥性4-極炭質傳感器
采用了新型的使用高耐藥性玻璃碳材料的FES-510系列4-極式流通型傳感器。可測量使用于半導體清洗和其它制程中多種化學藥液的大范圍電導率。準確監測TMAH（羥化四甲銨），一種在半導體制程中光刻工藝時使用到的顯影液的主要成分。
重復性：± 0.003%
測量范圍：0-3%
耐化學藥品的碳極傳感器
