FP-260氫化物氣體檢測儀/分析儀
適用于半導體工業
特點
●工業半導體凈化室的理想檢測儀器
●更適于低濃度氣體檢測（PPM級）
●抗干擾性強
●盒式帶取放簡便
●盒帶剩余量顯示
類 型 臺式，可搬運型 檢測原理 光電光度學原理用于盒式紙帶 檢測盒帶 VHS型可更換盒式帶電 電源和耗電量 AC220V 50/60Hz 尺寸.重量 275(W)×220(H)×370(D)mm 約
技術參數
檢測時：35VA 供帶時：60VA
檢測氣體名稱
| 檢測氣體 | TLV值 | 檢測范圍 | 解析值 |
| 磷 PH4 | 300ppb | 0--900ppb | 5 |
| 四氫化硅 SiH4 | 5ppm | 0--15ppm | 0.25 |
| B2H6 | 100ppb | 0--300ppb | 5 |
| 胂 AsH3 | 50ppb | 0--150ppb | 1 |
| 乙硅烷 SiH6 | 5ppm | 0--10ppm | 0.1 |
| 硫化氫 HS2 | 10ppm | 0--100ppm | 1 |
| 光氣 COCl2 | 100ppb | 0--300ppb | 2 |
| 氯氣 Cl2 | 0.5ppm | 0--100ppb | 1 |
| 硒化氫 H2Se | 50ppb | 0--300ppb | 2 |
