產品簡介
FluxDancer半導體參數分析儀是由Oriental Spectra精心打造的高精度測試設備，專為測量和分析半導體器件的電學特性而設計。這款儀器融合了眾多前沿測量技術，包括電源、電壓表、電流表、LCR表和開關矩陣等，使其能夠執行電流-電壓（IV）和電容-電壓（CV）測量，以及快速脈沖IV測量等多種測試。
FluxDancer在于其對測試精度和分辨率的追求。它不僅能夠提供精確的IV和CV表征，而且廣泛應用于半導體研發、工藝制程開發、器件可靠性測試和光電器件測試等領域。與傳統的多儀器組合相比，FluxDancer的集成設計確保了更高的測量精度和分辨率。
在技術規格上，FluxDancer展現了其性能。它支持廣泛的電壓和電流測量范圍，具備高的精度和靈敏度，能夠檢測到低至飛安級別的微小電流，并能夠進行高達兆赫茲頻率的CV測量。此外，FluxDancer還具備強大的數據處理能力，可以在測試后立即進行器件特性分析，支持多種數據保存方式，便于用戶進行后續的分析研究或直接導入建模軟件進行模型提取和特性分析。
FluxDancer的適用性非常廣泛，能夠適應各種擴展性的測試場景。例如，它可以與高低溫恒溫器耦合，進行變溫器件性能測試；與顯微測試系統耦合，進行微納器件測試；與手套箱測試耦合，實現測試過程的惰性氣體保護；與真空發生器測試耦合，實現真空測試；與磁學部件耦合，檢測磁場影響下的電學性能;與晶圓測試平臺耦合，實現對晶圓及后續半導體模組的電學測試等。
FluxDancer半導體參數分析儀是半導體行業中的高精度測試工具，它以性能和廣泛的應用范圍，為科研人員和工程師提供了一個可靠的測量平臺，助力用戶在半導體領域的探索與創新。
產品特點
□ 電流-電壓（IV）、電容-電壓（CV）、脈沖IV測試等全面功能；
□ 高精度和高分辨率的測量能力；
□ 快速測量和分析，支持多種測量模式；
□ 模塊化設計，易于升級和擴展：配置＞10個插槽，支持吸收電流至4A；
□ 適用器件、材料，有源/無源元器件等類型的電子器件；
□ 直觀的用戶界面，簡化操作流程；
□ 支持自動化測試和數據分析。
產品應用
□ 新型半導體
□ 二極管
□ CMOS 晶體管
□ 雙極晶體管（BJT）
□ 分立器件
□ 存儲器
□ 功率器件
□ 光子檢測器件
□ 太陽能電池
□ 發光二極管器件
□ 薄膜晶體管
□ 二維材料
□ EMS
□ 傳感器
□ 納米器件
功能參數
| 規格配置 | 主要技術指標 | |||
| I-V 源測量單元 (SMU) | 大功率SMU |
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| 中等功率直流SMU |
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| 小功率直流SMU |
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| 支持源表數量 |
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| 前置放大 |
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| C-V 多頻率電容單元 (CVU) |
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| 脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元 (PMU) |
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| 高壓脈沖發生器單元 (PGU) |
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| I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV) |
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| 1/f噪聲測試模塊（FNU） |
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| 電氣輸入 |
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| 軟件系統 | ||||
| 軟件 |
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