X熒光光譜儀在無損檢測方面,具有其他剖析技能無法比較的長處,應用X射線光譜儀掃描辦法探測土壤表層下面的是元素是X射線無損檢側技能的一個主要使用范疇。
X熒光光譜儀是一種較新型的可以對多元素進行同時測定的儀器,在X射線激發下,被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線(即X熒光),波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

X熒光光譜儀是一種的、非破壞式的物質測量方法,X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發出的次級X射線,這種現象被廣泛用于元素分析和化學分析,特別是在金屬,玻璃,陶瓷和建材的調查和研究,地球化學,法,考古學和藝術品,例如油畫和壁畫。

X熒光光譜儀根據其分光原理不同分成波長色散型X熒光光譜儀(波譜儀,WDXRF)和能量色散型X熒光光譜儀(能譜儀,EDXRF),我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長色散的儀器,X熒光光譜儀可對固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進行定性、定量剖析,元素局限13Al-92U,含量局限ppb至,檢出限到2pg。

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