奧林巴斯BX53M為傳統(tǒng)的工業(yè)顯微鏡檢查而設(shè)計(jì)，并擴(kuò)展了其功能，以滿足更廣泛的應(yīng)用和檢查技術(shù)的要求。奧林巴斯公司具有生產(chǎn)光學(xué)元件的悠久歷史，無(wú)論用目鏡觀察，還是通過(guò)顯示器觀察，都具備*的圖像畫(huà)質(zhì)。
全面可定制性模塊化設(shè)計(jì)可以為用戶靈活地構(gòu)建滿足其特殊要求的系統(tǒng)。
顯微檢查任務(wù)常常需要用很長(zhǎng)的時(shí)間來(lái)調(diào)節(jié)顯微鏡設(shè)置、獲取圖像，以及進(jìn)行必要的測(cè)量，從而得到令人滿意的報(bào)告。用戶有時(shí)需要投入時(shí)間和金錢(qián)去完成專業(yè)的顯微鏡培訓(xùn)，或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開(kāi)展工作。
奧林巴斯BX53M通過(guò)其優(yōu)良的設(shè)計(jì)和便捷的控制功能，簡(jiǎn)化了復(fù)雜的顯微檢查任務(wù)。用戶不需要長(zhǎng)時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX53M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性，減少了人為錯(cuò)誤。
暗場(chǎng)觀察
暗場(chǎng)能夠觀察標(biāo)本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會(huì)反射這種光，而平整的部位則顯得很暗，因此缺陷部位就會(huì)清晰地顯示出來(lái)。用戶甚至可以識(shí)別出極細(xì)微的劃痕，或小到8nm級(jí)別的缺陷 – 比光學(xué)顯微鏡的分辨能力還要小。因此，暗場(chǎng)是檢測(cè)標(biāo)本上細(xì)微劃痕或缺陷，以及鏡面標(biāo)本（包括晶圓）的理想工具。
微分干涉觀察
微分干涉是一種顯微鏡觀察技術(shù)，這種技術(shù)把明場(chǎng)觀察所不能檢測(cè)到的標(biāo)本高度差，變?yōu)楦〉駹罨蛉S圖像，改善了圖像襯度。該技術(shù)使用了偏光，并有三種專門(mén)定制設(shè)計(jì)的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細(xì)微高度差的標(biāo)本的理想工具，包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤(pán)介質(zhì)和拋光晶圓表面。
偏光觀察
這種顯微鏡觀察技術(shù)使用了由一套濾色片（檢偏鏡和起偏鏡）產(chǎn)生的偏光。標(biāo)本的特性直接影響顯微鏡反射光的強(qiáng)度。這種技術(shù)適用于金相組織（比如球墨鑄鐵上石墨生長(zhǎng)的形態(tài)）、礦石、LCD和半導(dǎo)體材料。
熒光觀察
該技術(shù)用于通過(guò)專用濾色片激發(fā)塊照明，使標(biāo)本能夠發(fā)出熒光（發(fā)出不同波長(zhǎng)的光），特定的激發(fā)塊可用于特定的應(yīng)用。它適合于檢查半導(dǎo)體晶圓上的異物、光阻殘留物，以及通過(guò)熒光染料檢測(cè)裂縫。可以選配復(fù)消色差集光鏡系統(tǒng)的燈箱，以補(bǔ)償從可見(jiàn)光到近紅外光的色差。
紅外光觀察
IR觀察是非破壞性地檢查可以透過(guò)紅外光的硅材料或玻璃材料構(gòu)成的電子元器件內(nèi)部的方法。
透射光觀察
對(duì)于透明樣品，比如LCD、塑料和玻璃材料，可以使用各種聚光鏡進(jìn)行透射光觀察。組建一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)透射光明場(chǎng)和偏光進(jìn)行樣品檢查非常方便。
奧林巴斯BX53M規(guī)格（用于反射和反透射組合的金相觀察）
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無(wú)限遠(yuǎn)校正） | |||
顯微鏡機(jī)架 | 照明 | 反射/透射 | 反射 | |
對(duì)焦 | 行程：25 mm | 行程：30 mm | ||
樣品高度 | 35 mm (不含高度適配器) | 65 mm (不含高度適配器) | 取決-安裝配置 | |
觀察筒 | 寬視野FN22 | 倒像：雙目、三目、傾斜式雙目 | ||
超寬視野FN26.5 | 倒像：三目 | |||
反射光照明 | 常規(guī)觀察技術(shù) | BX3M-RLAS-S | ||
- | U-KMAS | |||
熒光 | BX3M-URAS-S | |||
透射光 | 白光LED | - | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 用于BF | 六孔，對(duì)中六孔，七孔，編碼五孔（選配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器） | ||
用于BF/DF | 六孔，五孔，對(duì)中五孔，編碼五孔（選配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器） | |||
載物臺(tái) | 同軸左手（右手）操作載物臺(tái)： | - | ||
重量 | 大約18.3 kg | 大約15.8 kg | 大約11.1 kg | |
BX53M規(guī)格（用于紅外觀察）
BX53MRF-S | BXFM | ||
IR觀察筒 | 寬視野FN22 | 倒像：三目 | |
反射光照明 | IR觀察 | BX3M-RLA-S IR用100W/50W鹵素?zé)簦珺F/IR，AS（帶對(duì)中裝置） | |
– | U-KMAS | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 用于BF | 六孔，對(duì)中六孔，七孔，編碼五孔（選配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器） | |
Stage (X × Y) | 同軸左手（右手）操作載物臺(tái)： | – | |
重量 | 大約18.9 kg（顯微鏡機(jī)架7.4 kg） | 大約11.6 kg（顯微鏡機(jī)架1.9 kg） | |
BX53M規(guī)格（用于偏光觀察）
BX53MTRF-S | ||
偏光中間附件 | 寬視野FN22 | 倒像：雙目、三目、傾斜式雙目 |
勃氏鏡 | 可對(duì)焦（僅適用于U-CPA） | |
勃氏鏡視場(chǎng)光闌 | 直徑?3.4mm（固定）（僅適用于U-CPA） | |
切換正像鏡檢和錐光鏡檢時(shí)加入或退出勃氏鏡 | 滑塊位置 ● 進(jìn)入 | |
檢偏鏡插槽 | 旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插槽（U-AN360P-2） | |
檢偏鏡（U-AN360P-2） | 可旋轉(zhuǎn)360°的撥盤(pán) ,可旋轉(zhuǎn)的最小角度0.1° | |
對(duì)中式物鏡轉(zhuǎn)換器（U-P4RE） | 四孔，附對(duì)中裝置：1/4λ偏振片(U-TAD)， | |
載物臺(tái)（U-SRP） | 帶3點(diǎn)對(duì)中功能的偏光專用旋轉(zhuǎn)載物 | |
聚光鏡（U-POC-2） | 色差無(wú)應(yīng)力聚光鏡（U-POC-2），帶外擺式消色差頂部透鏡的可旋轉(zhuǎn)360°起偏鏡。 “0°”刻度處的鎖定機(jī)構(gòu)可調(diào)節(jié)。 | |
重量 | 大約16.2 kg（顯微鏡機(jī)架7.6 kg） | |
