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  • 晶圓搬送機AL120

晶圓搬送機AL120

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地廣州市
  • 更新時間2025-03-17
  • 廠商性質其他
  • 所在地區廣州市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量33
  • 人氣值17
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廣州元升科技有限公司 創建于2001年8月8日,致力于為客戶提供高效的工業檢測解決方案。主營 奧林巴斯工業顯微鏡及無損檢測設備、日立電子掃描顯微鏡、日立超聲波影像儀、自動測量設備、AOI自動檢查設備、顯微鏡前處理制樣設備等。公司作為奧林巴斯工業顯微鏡華南地區一級代理商、日立電子掃描顯微鏡華南地區專業代理商,近年來更是大力進軍自動測量與檢查領域,擁有一支高水平的銷售和售后服務團隊。總部設在廣州,其中香港、廈門、福州、廣西、海南等設有分公司或辦事處。經過十多年的不懈努力,已成為眾多企業、高校、研究單位優質供應商與合作伙伴,在電子、汽車、能源、金屬材料、機械加工、化工、地質等領域積累了豐富的檢測經驗。
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AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓,可以安全高效搬送薄片晶圓,非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查
晶圓搬送機AL120 產品詳情

AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓,可以安全高效搬送薄片晶圓,非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

適應范圍廣、搭配靈活


對應多種尺寸組合

我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應小于150 mm的晶圓)的3種型號。除此以外,您還可以根據檢查模式,選用微觀檢查專用型號"L型"或微觀?宏觀檢查兼用型號"LMB型"。 
晶圓尺寸?厚度對應表
晶圓尺寸?厚度對應表


薄片檢查

對應薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。


高度實用性


 進一步優化的宏觀檢查

背面宏觀360゜旋轉
背面宏觀360゜旋轉
  • 宏觀檢查手臂可以360゜旋轉,更為容易發現傷痕和微塵。
  • 利用360゜旋轉功能,可以目視檢查整個晶圓(包括邊緣)。此外,在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓傾斜30゜進行觀察。

操作便捷

  • 為了滿足各種常規檢查的要求,AL120可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度。快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
  • 晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT,便于操作者再次確認。
  • AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。

高度可靠性


優先考慮晶圓和操作者的安全

  • 為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設計。
  • 在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測,同時,在環境保護方面遵守了RoHS指令。

堅固、耐用的顯微鏡底座

AL120搭載奧林巴斯MX專業晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法,包括:明視場、暗視場、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實現了的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。


人機工程學設計的載物臺

  • 手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。
  • 可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺,進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。

晶圓搬送機 AL120 規格
200 mm專用型 200 mm/150 mm 兼用型 150 mm型
AL120- 
LMB8- 
90
AL120- 
LMB86- 
180
AL120- 
L86- 
180
AL120- 
LMB86
AL120- 
L86
AL120- 
LMB6- 
150
AL120- 
L6- 
150
晶圓尺寸(SEMI規格) 200mm 200mm / 150mm 150mm / 
125mm / 
100mm
晶圓最小厚度 90µm 180µm 400µm 150µm
片盒類型* SEMI規格:25(26)個slot
片盒數 1
檢查模式 全部檢查/抽樣檢查
搬運順序 微觀檢查(顯微鏡檢查)
表面宏觀檢查
背面宏觀檢查
二次背面宏觀檢查
晶圓定位(每 90o) 非接觸(定位平邊/V型槽) 非接觸(定位平邊)
適配顯微鏡型號 奧林巴斯半導體檢查顯微鏡 MX61
尺寸(mm) 主機部分:640 (W) × 620 (D) × 378 (H),配備顯微鏡時:1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) 主機部分:570 (W) × 620 (D) × 400 (H),配備顯微鏡時:980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
重量(kg)(僅主機部分) 44 44 41 44 41 40 37
使用環境(電源/真空) AC100 V~120 V、1 A或AC220 V~240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67~-80 kPa、20 Liter/min以上

* 最多可登記10種片盒


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