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  • 晶圓搬送機             AL120

晶圓搬送機 AL120

參考價
面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2022-08-16
  • 廠商性質其他
  • 所在地區上海
  • 實名認證已認證
  • 產品數量132
  • 人氣值726
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上海西努光學科技有限公司,以下簡稱西努光學。西努光學成立于2003年,始終致力于“以光學為核心,為用戶提供檢測解決方案”為方針,推動智能檢測裝備的轉型升級,將顯微光學成像以及圖像算法應用于檢測技術的科技創新公司。 公司專注服務于工業領域客戶,通過顯微光學成像、圖像算法及實驗方案應用技術和產品幫助工業企業實現數字化、智能化檢測發展。公司主要為用戶提供檢測技術方案及檢測裝備。產品功能涵蓋尺寸及缺陷檢測、智能制造、實驗室理化解決方案等工業領域多個環節。 經過十余年的深耕與積累,公司累計服務2000多家客戶,積累了大量的行業經驗,并確保了前沿的顯微光學與檢測實際場景的深度融合。公司主要客戶群體涵蓋了微電子行業、汽車零件行業、智能裝備等工業領域。 西努光學以科技創新為公司發展的原動力,以顯微光學成像、圖像算法為核心技術,緊密圍繞企業的檢測需求,通過持續科技創新,為用戶提供*的工業檢測設備及應用方案。西努光學 誠信為您服務 專業為您服務基本價值觀:1、西努光學秉持“以光學為核心,為客戶提供解決方案”的經營方針,致力于光學檢測與應用水平的提升。2、西努光學以誠信、專業、服務為基本價值觀和追求,以實現客戶-西努、供應商-西努光學、合作伙伴-西努、員工-西努雙贏為目標。3、西努光學認為員工是西努寶貴的財富,是構成西努價值和競爭力的核心;西努光學將根據自身條件不遺余力地為員工職業發展、事業發展和家庭幸福做出*大努力。4、公平、公正、坦誠是西努人事制度的價值基礎;友愛互助、團隊協作是西努特別重視的品質;勤勉、敬業、精益求精是西努特別強調的職業精神。5、誠信守約是西努基本行為準則。西努堅決反對和抵制一切欺詐、不守信諾的行為;無論這種行為基于何種理由。6、可持續發展、效益穩定增長、效率穩步提升是西努戰略制定的基本準則和依據。7、技術和服務是西努能夠成為光學解決方案提供商的關鍵,西努光學確保技術提升、客戶滿意度提升方面的投入能夠隨利潤的增長而增長。
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適合于前道到后道工程的晶圓檢查AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓
晶圓搬送機 AL120 產品詳情

適合于前道到后道工程的晶圓檢查


AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶

圓,以安全高效搬送薄片晶圓,非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。



適應范圍廣、搭配靈活

對應多種尺寸組合
我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應小于150 mm的晶圓)的3種型號。除此以外,您還可以根據檢查模式,選用微觀檢查專用型號"L型"或微觀?宏觀檢查兼用型號"LMB型"。

晶圓尺寸?厚度對應表


薄片檢查
對應薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。


高度實用性

進一步優化的宏觀檢查


背面宏觀360゜旋轉
? 宏觀檢查手臂可以360゜旋轉,更為容易發現傷痕和微塵。

? 利用360゜旋轉功能,*可以目視檢查整個晶圓(包括邊緣)。

此外,在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓*大傾斜30゜進行觀察。


操作便捷
? 為了滿足各種常規檢查的要求,AL120可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度。快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
? 晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT,便于操作者再次確認。
? AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。


高度可靠性

優先考慮晶圓和操作者的安全
? 為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設計。
? 在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測,同時,在環境保護方面遵守了RoHS指令。


堅固、耐用的顯微鏡底座
AL120搭載奧林巴斯MX專業晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法,包括:明視場、暗視場、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實現了清晰的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。


人機工程學設計的載物臺
? 手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。
? 可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺,進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。 


AL120晶圓搬送機規格:

 200 mm專用型200 mm/150 mm 兼用型150 mm型
AL120- 
LMB8- 
90
AL120- 
LMB86- 
180
AL120- 
L86- 
180
AL120- 
LMB86
AL120- 
L86
AL120- 
LMB6- 
150
AL120- 
L6- 
150
晶圓尺寸(SEMI規格)200mm200mm / 150mm150mm / 
125mm / 
100mm
晶圓*小厚度90µm180µm400µm150µm
片盒類型*SEMI規格:25(26)個slot
片盒數1
檢查模式全部檢查/抽樣檢查
搬運順序微觀檢查(顯微鏡檢查)
表面宏觀檢查   
背面宏觀檢查   
二次背面宏觀檢查   
晶圓定位(每 90o)非接觸(定位平邊/V型槽)非接觸(定位平邊)
適配顯微鏡型號奧林巴斯半導體檢查顯微鏡 MX61
尺寸(mm)主機部分:640 (W) × 620 (D) × 378 (H),配備顯微鏡時:1100 (W) × 620 (D) × 378 (H)主機部分:570 (W) × 620 (D) × 400 (H),配備顯微鏡時:980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
重量(kg)(僅主機部分)44444144414037
使用環境(電源/真空)AC100 V~120 V、1 A或AC220 V~240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67~-80 kPa、20 Liter/min以上

* *多可登記10種片盒

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