中圖儀器SEM掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍,制作工藝相對簡單,材料成本也較低,使得鎢燈絲電子槍的整體成本不高,從而降低了臺式掃描電鏡的設備采購成本。
鎢燈絲電子槍可以在相對較低的真空度下工作,通常只需要兩級真空泵系統獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求,而不需要像場發射電子槍那樣的超高真空環境,這不僅降低了真空系統的復雜度和成本,還縮短了抽真空的時間,提高了工作效率。
中圖儀器CEM3000系列SEM掃描電鏡品牌空間分辨率出色和易用性強,用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下,無需過多人工調節,便可一鍵得到理想的拍攝圖片。還運用了快速抽放氣設計,讓用戶在使用時不再等待,且全系列可選配低真空系統,以便精準調節樣品倉內真空度,滿足不同樣品的觀測需求。
產品功能
1.高分辨率,滿足用戶觀測需求;
2.快速抽放氣,縮短等待時間;
3.高易用性
可快速成像,一鍵成片;
4.多種成像參數
滿足專業用戶的調節需求;
5.高抗振防磁性能
強抗干擾能力;
6.可選配低真空模式,保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;
8.多探測器
可實現四分窗同時掃描成像。
核心優勢
1、緊湊靈活,突破空間限制
(1)臺式設計,體積小巧,輕松擺放在桌面或狹小空間(如手套箱、移動實驗室),節省實驗室空間。
(2)支持快速移機,一臺設備滿足多場景需求,助力科研效率提升。
2、高性能,納米級分辨率
(1)空間分辨率優于4nm(SE),支持高達200,000倍放大,精準捕捉納米材料、微流控芯片等樣品的微觀形貌。
(2)高襯度成像系統,快速掃描也能清晰呈現微弱信號,滿足材料科學、生命科學等領域的需求。
3、抗振防磁,穩定無懼挑戰
(1)特殊隔振設計(CEM3000B搭載復合抗振系統),消除環境振動與電磁干擾,保障高倍成像質量。
(2)適用于工業車間、車載實驗室等復雜環境,穩定可靠。
4、高效便捷,一鍵智能操作
(1)快速抽放氣技術:低真空模式僅需40秒(CEM3000B),高真空模式最快1.5分鐘,大幅縮短等待時間。
(2)自動對焦、消像散、圖像增強功能,一鍵生成高質量圖片,降低操作門檻。
5、靈活拓展,滿足多樣需求
(1)可選配低真空系統(5~100Pa),兼容導電/非導電樣品觀測。
(2)支持二次電子、背散射電子探頭及能譜儀,搭配顆粒統計、孔隙率測量等定制功能,滿足多領域分析需求。
應用場景
材料科學:納米材料(如60nm銀線)、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結構分析。
新能源:太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫療:微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。
工業質檢:錫球顆粒焊接質量、精密器件表面粗糙度檢測。
機型選擇
CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B(抗振型):專為振動環境設計,抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩定。
部分技術指標
型號 | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優于4nm(SE),優于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數 | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配:顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統 | 真空度 | 高真空:優于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X,Y,T |
手動軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動旋轉、電子束旋轉) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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