半導體器件靜電放電模擬器
ESS-6002 /6008
半導體器件
靜電放電模擬器
●最小10V輸出，可進行1V步進設定，用于敏感元件的評價試驗。
?。‥SS-6002）
●8KV輸出，可進行10V步進設定，可進行破壞性試驗。（ESS-6008）
●通過使用簡易放電板，可以用IC放電夾直接放電
●通過使用半自動精密型探針臺，可半自動的進行定量的放電。
●可進行人體模型（HBM）、機械模型（MM）試驗
●能在端口間正確地施加標準波形
●通過主端口，可確認放電后的特性變化
●可設定高速上升時間。（選件）
人體模型試驗 (HBM) 探針臺（半自動精密型探針臺）
AEC-Q100-002-Rev.D Jul.2003
ESDA ANSI/EOS/ESD-STM5.1-2001
IEC61340-3-1Ed.1.0 2002
IEC60749-26 Ed.1.0 2003
JEDEC JESD22- A114E Jan.2007
JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Test Method304
MIL-STD-883F 3015.7 Mar.1989
機械模型試驗 (MM)
AEC-Q100-003-REV -E Jul.2003
ESDA ANSI/ ESD STM5.2-1999
IEC61340-3-2 Ed.1.0-2002
IEC60749-27 Ed.1.0 2003
JEDEC JESD22- A115A Oct.1997
JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Reference Test Method
特征
項目 功能/性能
輸出電壓 10～2000V±10％（ESS-6002） 1V步進
100～8000V±10％（ESS-6008） 10V步進
輸出極性 正或負
重復周期 0.3～99s±10％
到10s為止0.1s步進 10s以后1s步進
放電次數 1～99次/連續
外部觸發輸入 ±15V，BNC接口
通過TTL下降時間來控制（100us以上的LOW或者端口間短路）
觸發輸出 輸出阻抗50Ω，TTL高脈沖5ms，BNC接頭
探針臺控制 和探針臺選件（精密型探針臺），型號：18-00076A連接后控制，Dsub接頭
ITERLOCK 端口臺、端口間開路時試驗停止（出貨時標配短路棒）
驅動電源 AC100～240±10％ 50Hz/60Hz
功耗 25VA
使用溫度范圍 15～35℃
保管溫度范圍 -10～50℃
使用濕度范圍 25～75％RH（不結霜）
保管濕度方位 0～85％RH（不結霜）
尺寸 （W）340×(H)×199×（D）300mm（不含突起部分）
重量 約6kg
規格
對應標準
商品名稱 數量
人體模型（HBM）放電探針（型號 01-00054A） 1
機械模型（MM）放電探針（型號 01-00055A） 1
（波形調整用標準卡2張 型號 06-00065A）
AC電源線 1
操作說明書 1
半導體器件
靜電放電模擬器
■輸出波形
HBM 探針
短路時輸出波形
電壓 次峰值電流 第二次峰值電流 周期 振鈴波
lp 1 lp 2 Irs
100V 1.75A±10%
200V Min : 3.5A -10%
Max.: 3.8Z Min : 67% of Ip 1 Min : 66ns ≦30% of Ip 1
400V 7.5A±10% Max : 90% of Ip 2 Max : 90nx
800V 14A±10%
500Ω負載時輸出波形（500Ω±1％）
電壓 峰值電流 100ns時的電流 200ns時的電流
lpr 1100nx 1200ns
100V — — —―
200V — — —
400V Min : 0.85A 0.29A±10% Min : 35% of 100ns
Max : 1.1745A Max : 45% of 100ns
800V — —
* 輸出電壓根據主機（ESS-6002/6008）而定
MM 探針
項目 規格
使用溫度/濕度范圍 15～35℃/25～75％RH（不結霜）
尺寸/重量 （W）50×(H)×242×（D）54mm（不含突起部分）/約760g
CR C:200pF±10％，R：0Ω
機械模型（MM）探針 01-00055A
項目 規格
使用溫度/濕度范圍 15～35℃/25～75％RH（不結霜）
尺寸/重量 （W）50×(H)×242×（D）54mm（不含突起部分）/約760g
CR C:100pF±10％，R：1,5kΩ±1％
短路時輸出波形
電壓 峰值電流 上升時間 下降時間 振鈴波
lps Trs Tds Irs
250V 0.17A±10%
500V 0.33A ±10%
1000V 0.67A±10%
Min : 2ns Min : 1.3ns
2000V 1.33A±10% Max : 10ns Max : 1.7nx <15% of Ips
4000V 2.67A±10%
8000V 5.33A±10%
500Ω負載時輸出波形（500Ω±1％）
電壓 峰值電流 Ipr/Ips 上升時間 下降時間Tdr 振鈴波
lpr Trs Tds Irs
250V — — — — —
500V min：60% of Ips ≧63％ 5～25ns 200ns±40ns ≦15%
max：0.25A-25%
1000V min：60% of Ips ≧63％ 5～25ns 200ns±40ns ≦15%
max：0.5A-25%
2000V min：60% of Ips ≧63％ 5～25ns 200ns±40ns ≦15%
max：1.0A-25%
4000V min：60% of Ips ≧63％ 5～25ns 200ns±40ns ≦15%
max：2.0A-25%
8000V — — — — —
* 輸出電壓根據主機（ESS-6002/6008）而定
人體模型（HBM）探針 01-00054A
前面板
■簡單的操作性數字顯示：進行輸出電壓、放電間隔、放電次數等顯示
極性切換鍵：選擇放電電壓的極性
▼▲上下鍵：改變選擇的值，一直按住快速增減。
測試等級鍵：調節HRM、MM的電壓值
CALL鍵：可登記5個試驗條件
SWEEP鍵：以設定的步進從開始電壓～終止電壓進行掃描
MEASURE鍵：試驗前后，切換到DUT的測試用BNC端口
ESD鍵：選擇試驗設定項目的VOLTAGE、INTERVAL、COUNT
START鍵：試驗開始
STOP鍵：試驗停止
EXT TRIG鍵：在外部信號輸入時，試驗開始
