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半導體晶圓翹曲度檢測用高低溫一體機

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌邁浦特MAIPT
  • 所在地蘇州市
  • 更新時間2025-05-09
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區成都市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量63
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邁浦特信助于多年成功經驗,以專業技術,在壓鑄,食品化工,醫療,印刷,包裝,復合材料,電池包、測試機,橡膠壓延等科研行業提供所需的各種溫控設備和技服務,為客戶們提供各種應用工藝過程中加熱或冷卻,恒溫的技術服務,不僅僅是提供設備,我們提供更多的是解決方案以及對使用者的合理建議,注重客戶的使用感受,對設備品質孜孜不的追求,得到業界和使用客戶一致認可,是替代進口設備的可靠選擇



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半導體晶圓翹曲度檢測用高低溫一體機是專為 8 英寸、12 英寸硅基 / 化合物半導體晶圓研發的惡劣環境模擬設備,通過 -60℃~250℃超寬溫域控制技術與多物理場耦合測試系統 ,精準模擬晶圓在光刻、刻蝕、封裝等制程中的高溫熱膨脹(如 200℃外延生長)、及熱沖擊(溫變速率≥20℃/min)等復雜工況。控溫精度達 ±0.1℃。馬(技術員企微):①⑨①⑧②②o④④⑦⑥
半導體晶圓翹曲度檢測用高低溫一體機 產品詳情

半導體晶圓翹曲度檢測用高低溫一體機是專為 8 英寸、12 英寸硅基 / 化合物半導體晶圓研發的惡劣環境模擬設備,通過 -60℃~250℃超寬溫域控制技術多物理場耦合測試系統 ,精準模擬晶圓在光刻、刻蝕、封裝等制程中的高溫熱膨脹(如 200℃外延生長)、及熱沖擊(溫變速率≥20℃/min)等復雜工況。控溫精度達 ±0.1℃,某 12 英寸晶圓廠應用后,晶圓翹曲度檢測誤差率降低至 1.5% 以下,缺陷預警準確率提升 40%。

應用場景

  1. 晶圓制造與封裝測試

    核心需求:優化光刻、刻蝕工藝,驗證封裝材料的熱可靠性。

    設備價值

    • 工藝篩選:某晶圓廠通過 - 80℃循環測試,篩選出熱膨脹系數降低 18% 的光刻膠方案,翹曲度下降 35%。

    • 新品驗證:某研究院利用 300℃高溫循環,揭示晶圓應力與裂紋擴展的關聯機制,相關成果發表于《IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing》。

  2. 第三代半導體研發

    核心需求:提升 SiC、GaN 晶圓在寬溫域下的穩定性。

    設備價值

    • 環境適應:某 SiC 晶圓在 - 100℃冷啟動測試中,翹曲度下降率從 12% 降至 2%,故障率降低 80%。

    • 耐振動驗證:某 GaN 晶圓通過 - 40℃/10g 振動測試,開裂率下降 70%,壽命預測準確率提升 30%。

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