AL110/MX61
自動晶圓搬送機/200mm,半導體檢查顯微鏡
●用于100mm/125mm/150mm晶圓搬送及檢查（AL110-8）
●.用于200mm晶圓搬送機檢查,200/150mm晶圓交替檢查可能（AL110-8）
●非接觸式對中方式,潔凈度提高,減少晶圓污染的可能性
●靈活的程式設計,zui短的搬送時間*的提高了生產效率
●AL110-12 300mm晶圓自動搬送機臺（NEW）
| 型號
項目
| 200mm型
| 200/150mm兼容性
| 100/125/150mm兼容性
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| L
| LM
| LB
| MB
| LMB
| L
| LM
| LB
| MB
| LMB
| L
| LM
| LBM
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晶圓直徑
| 150mm晶圓平邊（Flat）,200mm切口（Notch）
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O
|
O
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| 150mm晶圓平邊（Flat）
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| O
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| 100mm/125mm/150㎜, 晶圓平邊（Flat）
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|
O
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| 片盒
| Fluoroware,H-bar型
| O
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| 片盒數量
| 1
| O
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| 觀察方法
| 連續和采樣
| O
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轉換方式
| 正面宏觀檢測
| O
| O
| O
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| O
| O
| O
| O
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| O
| O
| O
| O
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| 背面宏觀檢測
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| O
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| O
| O
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| O
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| O
| O
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| O
| O
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| 2次背面檢測
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| O
| O
| O
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| O
| O
| O
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| O
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| 表面顯微觀測
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| O
| O
| O
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| O
| O
| O
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| O
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| 定位平邊（Flat）,切口（Notch）校準
|
每90°一次
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O
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| 非接觸對中
| O
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轉移晶圓
| 帶真空吸附功能的自動機械臂
|
O
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| 可使用顯微鏡*2
|
MX61/MX61L型
| O
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| 規格（mm）
| 580（W）×580（D） ×297（H）
| 490（W）×520（D） ×297（H）
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| 重量（kg）
| 30
| 32
| 31
| 31
| 33
| 30
| 32
| 31
| 31
| 33
| 26
| 28
| 30
| |
| 能耗
| 電源;: AC100- 120V0.90A, 或AC200-240V0.55A 50/60Hz, 真空壓力; -67kPa～-80 kPa
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