運用紅外光譜技術檢測SF6氣體分解產物。
一、簡單介紹
運用紅外光譜技術檢測SF6氣體分解產物。
二、產品特點
· 鑒定和準確定量的主要分解產物（見下表，依據IEC 604800）。
· 只對需要監測的空間進行測量從而減低了維護費用 。
· 氣體處理和操作的費用減低。
· 可靠性的提高。
· 安全性的增強。
三、產品優勢
l 強大和完整的mid-IR用于常規和高等的實驗室分析。
l 易用的OPUS光譜軟件。
l 性能控制：*的分光計室、狀態燈、選擇測量參數的
自動控制的在線診斷。
l 完整的測試和檢驗功能（OQ，PQ）。
l 由于發明了帶完整的24bit ADC和*均衡的RockSolid干涉
儀 的DigiTect探測，使得有出色的功能和穩定的信號。
l 多樣的升級選擇：用于采樣室的完整的IR、外部的附件、光譜范圍延伸到FIR或NIR、氣體分析
的高分辨率、運動測量的各種監察速度的附件設置。
l 用于離子分光計操作從PC、便攜式電腦或筆記本的以太網連接；可以遠程控制和診斷。在交付中
包括：強大的OPUS光譜軟件，多煤體演示，在線幫助，GMP標準，21CFR部分的11選項。
l 用于離子光譜光學和信號處理的一個基于PC上的數據系統，此需求為適當的數據系統。數據庫和
軟件：1.用于分析基于氟上的硫的分析的12XX05分析的方法和數據庫；2.用于分析多量化的
SO2、HF、CF4、SF4、氟化亞硫氙的GAS數據庫
有9種分解物在下表所示敏感度范圍內以ppmv為單位可進行測量分析：
| 分解物 | SO2 | HF | SF4 | SOF2 | SOF4 | SO2F2 | S2F10 | SiF4 | CF4 |
| zui小測量值（ppmv） | 10 | 0.5 | 3 | 10 | 5 | 3 | 2 | 5 | 3 |
進一步分析可以確定H2O,CO2,and CO的含量
