系統配置：
• 型號：SR300
• 探測器： 2048像素的CCD線陣列
• 光源：高穩定性、長壽命的鹵素燈
• 光傳送方式：光纖
• 臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調節樣品重量、200mmx200mm的大小
• 軟件： TFProbe 2.2版本的軟件
• 通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連
• 測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率
• 電腦硬件要求：P3以上、zui低50 MB的空間
• 電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
• 保修：一年的整機及零備件保修
規格：
• 波長范圍：400到1100 nm
• 光斑尺寸：500μm至5mm
• 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm
• 基板尺寸：zui多可至50毫米厚
• 測量厚度范圍*：20nm?50μm
• 測量時間：zui快2毫秒
• 精確度*：優于0.5％（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較）
• 重復性誤差*：小于1 ?
選項:
?用于傳遞和吸收測量的傳動夾具（SR300RT） ??
??zui低可測量直徑為??µm大小的微光斑（MSP300）
???在多個位置下，多個通道用于同時測量（SR300xX）
???在超過???或???毫米晶片上所進行的統一測繪（SRM300-300/200）
應用:
•半導體制造（PR，Oxide, Nitride..）
•液晶顯示（ITO，PR，cell gap... ..）
•醫學，生物薄膜及材料領域等
•油墨，礦物學，顏料，墨粉
•醫藥，中間設備
•光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
•半導體化合物
•在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜
•非晶體，納米材料和結晶硅
