產品特點：

• 基于視窗結構的軟件，很容易操作
• *的深紫外光學及堅固耐用的抗震設計，以確保系統能發揮出*的性能及zui長的正常運行時間
• 基于陣列設計的探測器系統，以確保快速測量
• 低價格，便攜式及靈巧的操作臺面設計
• 在很小的尺寸范圍內，zui多可測量多達5層的薄膜厚度及折射率
• 在毫秒的時間內，可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數
• 能夠用于實時或在線的監控光譜、厚度及折射率
• 系統配備大量的光學常數數據及數據庫
• 對于每個被測薄膜樣品，用戶可以利用*的軟件功能選擇使用NK數據庫、也可以進行色散或者復合模型（EMA）測量分析
• 系統集合了可視化、光譜測量、仿真、薄膜厚度測量等功能于一體
• 能夠應用于不同類型、不同厚度（zui厚可測200mm）的基片測量
• 使用深紫外光測量的薄膜厚度zui低可至20 ?
• 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數據管理界面
• *的成像軟件可用于諸如角度、距離、面積、粒子計數等尺寸測量
• 各種不同的選配件可滿足客戶各種特殊的應用

系統配置：

•  型號：MSP300R
• 探測器：2048像素的CCD陣列
• 光源：直流穩壓鹵素燈
• 光傳送方式：光纖 
• 自動的臺架平臺：特殊處理的鋁合金操作平臺，手動調節移動范圍為75mm×55mm
• 物鏡有著長焦點距離:4×，10×，50×
• 通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連
• 測量類型：反射/透射光譜、薄膜厚度/反射光譜和特性參數
• 計算機硬件：英特兒酷睿2雙核處理器，200G硬盤、DVD刻錄機，19”LCD顯示器
• 電源：110–240V AC/50-60Hz，3A
• 尺寸：16’x16’x18’ （操作桌面設置）
• 重量：120磅總重
• 保修：一年的整機及零備件保修

基本參數：

•  波長范圍：400nm到1000 nm
• 波長分辨率: 1nm
• 光斑尺寸：100µm （4x）, 40µm （10x）, 8µm （50x）
• 樣品尺寸：標準150×150mm
• 基片尺寸：zui多可至20mm厚
• 測量厚度范圍: 10nm 到25 µm
• 測量時間：zui快2毫秒
• 精確度：優于0.5％（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較）
• 重復性誤差：小于2 ?