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  • 射頻等離子處理儀(等離子刻蝕\清潔\灰化)

K1050X 射頻等離子處理儀(等離子刻蝕\清潔\灰化)

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號K1050X
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2018-05-15
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區江蘇
  • 實名認證已認證
  • 產品數量16
  • 人氣值1798
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本公司一向堅持以“誠信經營、誠實服務”為立業宗旨,奉行“精研覃思、無微不至”的企業文化,公司將以更優秀的科技產品及服務回報社會,愿與社會各界竭誠合作,共同發展。
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K1050X等離子處理單元由固態射頻發生器結合調諧電路組成,同時兩種處理氣體流量針閥監控,全部或部分通氣口控制。抽屜式抽拉系統,固態射頻等離子處理系統,應用于SEM/TEM中材料表面刻蝕、微觀灰化、表面改性處理以及清潔處理。
射頻等離子處理儀(等離子刻蝕\清潔\灰化) 產品詳情
K1050X等離子處理單元由固態射頻發生器結合調諧電路組成,同時兩種處理氣體流量針閥監控,全部或部分通氣口控制。
它的腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統,方便使用。
真空系統為旋轉機械泵或可選用膜片泵作為前級真空的渦輪分子泵。
在真空裝載端口及SEM/TEM中特殊的清潔應用時,可方便更換抽屜式抽拉系統。
此系統通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機物質(碳氫化合物),氬對樣品表面進行刻蝕。
 
應用:

石棉試樣制備
有機材料微觀灰化
SEM&TEM中有機樣品刻蝕
去除光刻膠及電子元件中的包膠
塑料品的表面處理
SEM/TEM中的樣品夾清洗
 
 
特點:

固態射頻發生器及調諧電路
全自動控制
抽屜式結構
兩種處理氣體
緊湊的臺式系統

優點:

低溫灰化過程
易操作
裝/卸樣品方便
可選擇不同的混合氣體
節省空間
注:我們建議使用No. 2泵,
       它具有“的油”。

技術規格

儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 300mm H        重量:25Kg
桶形工作腔室:‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.(硼硅酸鹽玻璃作為標準配置)
拉出式抽屜:樣品托盤為抽拉式
等離子輸出:射頻電源-固態150瓦射頻峰值,通常操作范圍在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
(備注:所使用的頻率為標準組織CISPR認可的“工業”頻率)
真空測量范圍:完整的操作真空顯示的活性計量頭ATM - 1x10-5 mbar全刻度-通常操作真空為0.5mbar到1.0mbar
數字計時單元:99.9小時選擇范圍時間顯示。在灰化過程結束后自動終止。
雙氣體流控制:雙氣體針閥控制,可選1或2或兩種氣體(校準5到 100cm3/分 空氣 @ A.T.P.)
電源:230V 50Hz (包括泵zui大電流5 Amp);115V 60Hz(包括泵zui大電流10 Amp)
Services: Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵:No. 2 泵 (with a synthetic oil "Fomblin" for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr
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