富士ZAF型熱導式氣體分析儀
半導體裝置的H2氣體濃度測量 氫氣發生裝置的H2氣體濃度測量 燒結爐的H2氣體濃度測量 煤氣發生設備的Ar、He、CH4濃度測量 超導裝置的He氣體濃度測量空氣分離設備的Ar氣體濃度測量
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富士ZAF型熱導式氣體分析儀 |
熱導式氣體分析儀ZAF型
測量H2、Ar、He氣體濃度的熱導式氣體分析儀
各種資料下載
中文版規格書(CDS3-127d) (856KB)
英文版產品目錄(21C1-E-0031) (1.48MB)
英文版規格書(EDS3-127d) (172KB)
特點
清晰易見的大形LCD顯示。
可與計算機通信。
小型的面板安裝結構。
零點、滿量程點的自動校正功能(選配件)。
可對其它氣體的干涉影響進行補償運算(選配件)。
氣體濃度報警輸出(選配件)
可任選上·下限報警、上·上限報警、下·下限報警輸出中的某一項。
量程切換(選配件)
通過正面鍵盤操作的切換方式或通過外部接點輸入的切換方式。量程比：測量H2、He zui大為1:10 測量Ar、CH4、CO2 zui大為1:5。
測量輸出信號的線性化(選配件)
用途
半導體裝置的H2氣體濃度測量
氫氣發生裝置的H2氣體濃度測量
燒結爐的H2氣體濃度測量
煤氣發生設備的Ar、He、CH4濃度測量
超導裝置的He氣體濃度測量空氣分離設備的Ar氣體濃度測量
| 熱導式氣體分析儀是利用2種組分氣體不同的熱導率來測量氣體濃度。檢測器內部有參比室和測量室，內部分別張緊著細鉑絲。參比室內密封著參比(基準)氣體。鉑絲與外部定值電阻組合，形成電橋回路，恒定電流分別流過各鉑絲，使之發熱。被測組分中若濃度有變化，則試樣氣體的熱導率會隨之變動，從而使測量室鉑絲的溫度發生變化。將這種溫度變化以電阻值變化的形式取出，就可以計算出被測氣體的濃度。 |
測量原理
主要規格
| 標準規格 | 測量方式 | 熱傳導式 | |
|---|---|---|---|
| 測量組分 | He、Ar、H2、CH4、CO2 | ||
| 測量范圍 | H2：0～3……100％，100～90，100～80％ He：0～5……100％，100～90，100～80％ Ar：0～10……100％，100～90，100～80％ CH4：0～20……100％，100～80％ | ||
| 輸出信號 | DC4～20mA、DC0～1V、DC0～10mV 非隔離輸出(其中某一點，根據型號) | ||
| 容許負載電阻 | 不超過550Ω(DC4～20mA輸出時) | ||
| 輸出電阻 | 100kΩ(DC0～1V、DC0～10mV時) | ||
| 顯示器 | 帶背光LCD | ||
| 測量值顯示 | zui多4位或小數點后帶2位 | ||
| 輸出信號保持 | 手動校正、自動校正時保持校正前的輸出值 | ||
| 電源電壓、功耗 | AC100～240V 50/60Hz、約50VA | ||
| 環境溫度、濕度 | －5～45℃、不超過90%RH(應無結露) | ||
| 安裝方法 | 面板嵌入型 | ||
| 外形尺寸(H×W×D) | 240×192×213mm | ||
| 重量 | 約5kg | ||
| 外殼類型 | 鋼板制外殼、室內型 | ||
| 氣體出入口、換氣口 | Rc1/4或NPT1/4(根據) | ||
| 換氣氣體的流量 | 約1L/min(根據需要進行) | ||
| 適用標準 | CE標記(預定取得認證) | ||
| 性能 | 重復性 | ±1%FS | |
| 漂移 | 零點：±2% FS/周 以內(H2分析儀) 滿量程點：±2% FS/周 以內(H2分析儀) | ||
| 響應速度(90%響應) | 標準：60秒以內(0.4L/min流量) 高速：10秒以內(1L/min流量) 但H2分析儀(參比氣為N2) | ||
| 標準測量氣體條件 | 溫度 | 0～50℃ | |
| 氣體流量 | 0.4±0.05 L/min 且應穩定 | ||
| 塵埃 | 不超過1µm的微粒， 不超過100µg/Nm3 | ||
| 壓力 | 不超過10kPa | ||
| 氣霧、腐蝕性氣體 | 無 | ||
| 水分 | 不超過2℃飽和 | ||
| 選配件規格 | 線性化 | 對測量值輸出信號(DC4～20mA)附加線性化 直線度不超過 ±2%FS | |
| 繼電器接點輸出 | 5點的1a輸出 繼電器接點容量：AC220V/2A(阻性負載) 各接點間以及與內部電路之間為繼電器隔離 以下功能zui多可選擇5項
| ||
| 接點輸入 | 3點無電壓接點輸入 ON：0V、OFF：DC5V、ON時電流5mA 與內部電路為光耦合器隔離、接點輸入之間為非隔離 可輸入以下3點
| ||
| 干涉氣體測量值輸入 | H2分析儀干涉用模擬量輸入(DC1～5V) | ||
| 自動校正功能 | 按照事先設定的周期自動進行零點、滿量程的校正。驅動設置在外部的電磁閥，校正氣體即依次流動。 | ||
| 通信功能 | RC232C(9針D-sub輸出) | ||
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