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儀表網 儀表標準】近日,國家標準計劃《表面化學分析 x射線光電子能譜 選擇儀器性能參數的表述》編制完成并征求意見,時間截止到2023年3月8日。主要起草單位有廈門大學、廈門荷清教育咨詢有限公司等。
表面分析是新材料、新能源生科技術等戰略性新興產業的重要技術。XPS(X 射線光電子能譜儀)是表面分析的最核心儀器。其重要特征是能獲得固體樣品表面區域(≈1 nm 至 10 nm)的定性量分析。
世界上有多家廠商生產x射線光電子能譜儀。盡管每臺儀器的XPS分析方法的基本原理是相同的,但儀器的具體設計和性能說明的方式各不相同。因此,通常很難比較不同廠商生產的儀器性能。
為使我國XPS和AES分析技術保持與國際接軌,國家標準與ISO同步,全國微束分析技術委員會表面分析分技術委員會于2018年提出將ISO 15470:2017轉化為國家標準,并列入原國家標準委2021制修訂國家標準計劃,項目編號為20214940-T-469。
目前,我國本領域僅有GB/T28892-2012/ISO15470:2004 IDT《表面化學分析X射線光電子能譜儀選擇儀器性能參數的表述》國家標準。本標準是等同采用國際標準ISO 15470:2017制定的相應國家標準,屬于國際國內先進標準。
本標準與國際標準在技術內容方面完全相同,僅作下述編輯性修改:a、改變國際標準的封面,以符合本國標準的封面規定;
b、改變標準的編號與現有國家標準編號一致;
c、重新編排全文的頁碼;
d、重新編排目次中的頁碼;
e、刪除國際標準中有關ISO的前言部分;f、增加有關標準編制說明的前言部分;
g、用小數點符號“.”代替作為小數點的符號“,”。
本文件詳細表述了如何選擇x射線光電子能譜儀的性能參數。其中包括選用的分析方法、樣品制備、系統的構造、x射線源、空間分辨率、譜儀強度性能和能量分辨率、譜儀的能量標尺、響應函數、荷電中和、真空環境等;也給出本文件涉及的規范性引用文件、術語及定義、符號及縮略語等。
本文件提供了一個基本項目單,以使所有x射線光電子能譜儀能以共同的方式來表述。廠商的說明書可能長達30頁或更多,本文件無意取代廠商的說明書,而是就廠商說明書中所確定的某些項目給出一致、明確的定義。
現有國家標準體系中GB/T28892-2012《表面化學分析X射線光電子能譜儀選擇儀器性能參數的表述》國家標準是ISO15470:2004等同轉化,本標準發布后,需廢除該國家標準。
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