【儀表網(wǎng) 招標(biāo)采購】7月8日，中國政府采購網(wǎng)發(fā)布東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院反應(yīng)離子刻蝕機(jī)采購項(xiàng)目招標(biāo)公告，預(yù)算金額350萬元，東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院采購反應(yīng)離子刻蝕機(jī)。
 

　　一、項(xiàng)目基本情況
 

　　項(xiàng)目編號(hào)：0664-2540SUMECZF116
 

　　項(xiàng)目名稱：東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院反應(yīng)離子刻蝕機(jī)采購
 

　　預(yù)算金額：350.000000 萬元(人民幣)
 

　　最高限價(jià)(如有)：340.000000 萬元(人民幣)
 

　　采購需求：
 

　　1、兼容8英寸及以下尺寸的晶圓片和不規(guī)則碎片；不同尺寸樣片之間的切換、無需反應(yīng)腔室的開腔破真空；反應(yīng)腔室由整塊鋁錠加工制成、無焊縫、低漏率，真空漏率≤ 2E-4 mbar·l/s；腔壁可加熱，反應(yīng)腔內(nèi)徑≥ 295 mm。
 

　　2、下電極為鋁制電極，由射頻源驅(qū)動(dòng)；電極冷卻：水冷，配置有循環(huán)冷卻器，溫度控制范圍不小于+10到+80°C。
 

　　3、配置激光終點(diǎn)原位檢測(cè)裝置，激光終點(diǎn)檢測(cè)波長≥ 650 nm，測(cè)量速度≤ 1秒，帶X-Y電動(dòng)位移，行程范圍≥ 20 mm × 20 mm；配置光發(fā)射譜(OES)終點(diǎn)檢測(cè)裝置，OES終點(diǎn)檢測(cè)裝置光譜范圍≥ 200-1000 nm，配置≥ 2000像素的CMOS探測(cè)器。
 

　　本項(xiàng)目接受進(jìn)口產(chǎn)品。
 

　　本項(xiàng)目所屬行業(yè)：工業(yè)。
 

　　本項(xiàng)目(非專門)面向中小企業(yè)采購。
 

　　本項(xiàng)目(非專門)面向監(jiān)獄企業(yè)采購。
 

　　本項(xiàng)目(非專門)面向殘疾人福利性單位采購。
 

　　最高限價(jià)：340萬元(境內(nèi)外產(chǎn)品最高限價(jià)均為此限價(jià)，其中境外產(chǎn)品不含外貿(mào)代理費(fèi))，超過最高限價(jià)的為無效投標(biāo)文件
 

　　項(xiàng)目編號(hào)：0664-2540SUMECZF116(SEU-ZB-250495)
 

　　合同履行期限：境外產(chǎn)品：開具信用證后300天內(nèi)設(shè)備安裝調(diào)試合格。境內(nèi)產(chǎn)品：合同簽訂后300天內(nèi)設(shè)備安裝調(diào)試合格。
 

　　本項(xiàng)目( 不接受  )聯(lián)合體投標(biāo)。
 

　　二、申請(qǐng)人的資格要求：
 

　　1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；
 

　　2.落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求：
 

　　無
 

　　3.本項(xiàng)目的特定資格要求：(1)如為進(jìn)口產(chǎn)品，需提供有效的產(chǎn)品授權(quán)書。4.拒絕下述供應(yīng)商參加本次采購活動(dòng)：(1)供應(yīng)商單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在直接控股、管理關(guān)系的不同供應(yīng)商，不得參加同一合同項(xiàng)下的政府采購活動(dòng)。(2)凡為采購項(xiàng)目提供整體設(shè)計(jì)、規(guī)范編制或者項(xiàng)目管理、監(jiān)理、檢測(cè)等服務(wù)的供應(yīng)商，不得再參加本項(xiàng)目的采購活動(dòng)。(3)供應(yīng)商被“信用中國”網(wǎng)站(www.creditchina.gov.cn)、“中國政府采購網(wǎng)"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被執(zhí)行人、稅收違法黑名單、政府采購嚴(yán)重違法失信行為記錄名單。
 

　　三、獲取招標(biāo)文件
 

　　時(shí)間：2025年07月09日  至 2025年07月15日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。(北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外)
 

　　方式：在線獲取(詳見補(bǔ)充事宜)
 

　　售價(jià)：￥400.0 元，本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和
 

　　四、提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)
 

　　提交投標(biāo)文件截止時(shí)間：2025年07月30日 14點(diǎn)00分(北京時(shí)間)
 

　　開標(biāo)時(shí)間：2025年07月30日 14點(diǎn)00分(北京時(shí)間)
 

　　地點(diǎn)：南京市長江路198號(hào)蘇美達(dá)大廈輔樓301會(huì)議室