導讀：中科院日前研制成功出速度快、精度高的“高精度長程光柵”加工裝置。該裝置可以拓展加工米級光柵甚至更長光柵。
近日，中科院上海光學精密機械研究所信息光學與光電技術實驗室近期成功研制出速度快、精度高的“高精度長程光柵”加工裝置。利用該裝置已加工出40微米、20微米、10微米、5微米等多種周期的高精度光柵。研制出的5微米周期光柵長度達到210mm，周期均勻性實驗控制精度優于亞納米級，該裝置可以拓展加工米級光柵甚至更長光柵。研制的高精度長程光柵將顯著提高我國在此領域的技術水平。
光柵尺是通過物體移動時，采用莫爾條紋或相關技術，通過移動光柵的計數，實現精密測量的技術，可以看作觀測物體精密移動的“眼睛”。光柵尺以其小巧簡單的結構，廣泛應用于機床加工，電控移動平臺等精密移動測量，其精度直接決定了精密機床的加工水平和精密移動平臺的水平。光柵尺的核心部件就是高精度光柵，但高精度的光柵國外對我國實行禁運，特別是具有納米精度的長程光柵，是我國高精度光柵尺產業必須解決的關鍵難題，也是目前納米制造技術面臨大尺度納米加工精度的極大挑戰。本次在高精度長程光柵研制方面取得的突破使得我國具有了制造高精度光柵尺光柵的能力，對我國機床高精度加工及精密移動平臺等相關產業的發展具有積極推動作用。
