【儀表網 新品搶鮮】納米技術的快速發展為現代微電子工藝和技術提供了新的活力，微納米電子器件正從單一功能的獨立部件向著具有多功能納米集成組件發展。將各種納米電子器件與能量轉換與存儲器件組裝在一起，實現自身供電的芯片集成系統，可以實現整個系統的微型化與輕質化，并有望實現多功能、可持續、無線、無需外部電池供能的自驅動系統。

近，中科院半導體所超晶格國家重點實驗室沈國震研究員率領的研究小組，巧妙的利用微加工工藝，將石墨烯基微型柔性超級電容器與半導體納米線光電探測器件在片內集成，實現了全柔性自供電光電探測系統。該研究首先采用光刻工藝在柔性薄膜基底上制備出叉指狀石墨烯微型超級電容器，然后通過對微型電容器的電極結構進行了簡單巧妙的改進，將具有可見光探測功能的硫化鎘納米線集成在石墨烯微型柔性超級電容器上，得到了無需外加電源持續供電的集成自驅動光探系統。

此微型電容器獲得了的896.77μF/cm2面積比電容值和8.01F/cm3體積比電容值，在0.782W/cm3的功率密度下可獲得0.621mWh/cm3的大能量密度。在微型超級電容器提供的電壓驅動下，硫化鎘光探測器件可以得到34.50的電流開關比，光響應能力和恢復能力與外接驅動電源得到的結果一致。此外，驅動電壓的大小也可通過調整微型電容器的集成規模進行控制，從而實現成倍增加的光響應性能。

該項工作為全柔性多功能一體化微納系統提供了一個新的思路。經過進一步的研究和改進，耦合合適的光電轉換器件，這種自供電系統有望實現高度的集成性和便攜性。該項工作得到了國家自然科學基金等項目支持。