臭氧得名于它的刀狀腥味，在常溫下可以自行還原為氧氣。與氧氣相比，易溶于水，容易分散。臭氧是由氧分子攜帶的一個氧原子組成的，這決定了它只是處于暫時的儲存狀態。攜帶的氧原子被氧化用完，剩下的結合成氧氣進入穩定狀態，所以臭氧沒有二次污染。
臭氧發生器是產生臭氧的機器。發生器是一種空氣或水的凈化裝置。其主要用途是利用臭氧殺滅i菌類，過濾作用的污染物。
臭氧發生器是一種內熱式氣相反應器。因為空氣等類似氣體都是不好的導熱體，電暈放電產生的熱量會使氣體溫度升高。較高的溫度會加速臭氧的逆反應，即臭氧被還原成氧氣，從而降低臭氧產量。因此，給臭氧發生器降溫也是提高發生器效率的一項措施。由于水和油的吸熱系數遠大于空氣，工業發生器一般采用水冷或油冷發生器。由于空氣冷方便易行，這種形式常用于微型臭氧發生器。
臭氧發生器中有采用水冷方式的，對于這種采用水冷方式的發生器，應考慮冷卻水的水質，防止冷卻水結垢，以免影響臭氧發生器的散熱效果，從而減少臭氧的輸出，增加維護成本。因此，如果冷卻水質量不好，需要增加板式冷卻器。
