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MKS1479A_模擬金屬密封質量流量控制器
模擬金屬密封;
流量范圍:10-20000 sccm;
進氣壓力:150 psig;
精度:模擬:±1% of F.S.;
數字:±1% of Reading;20-99% of F.S.;±0.2% F.S.,<20% of F.S.;
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