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當前位置：深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司>>Aera質(zhì)量流量控制器>> FC-R7810CD質(zhì)量流量控制器
FC-R7810系列不僅能提供高精度流量控制。
采用金屬材質(zhì)密封具備優(yōu)異的低泄漏特性，可適用于絕大多數(shù)氣體控制應(yīng)用。提供行業(yè)通用和AE*電氣信號可選方案，可方便對用戶使用的質(zhì)量流量控制器（MFC）進行替換，操作簡單。
特點：
◆高精度
◆高信賴和可靠性
◆耐腐蝕設(shè)計
◆采用金屬密封材質(zhì)
◆VCR、Swagelok互換的氣路接口
◆10SCCM－200SLM滿量程范圍
◆方便的互換性
◆高速應(yīng)答***的統(tǒng)一性，目前世界上有大約7萬只在運行中的產(chǎn)品，內(nèi)的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽
◆方便的互換性
技術(shù)參數(shù)：
性能指標 | FC-R7800CD/FC-R7800D系列
| FC-R7810CD/FC-R7810D系列
| FC-R7820CD/FC-R7820D系列
|
滿量程范圍
| 10Sccm-5Slm | N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** | 35-200Slm |
響應(yīng)時間 | 滿流量的±2%范圍內(nèi),小于2秒 | 滿流量的±2%范圍內(nèi),小于3秒 | |
精度 | ≤±1%滿量程 | ≤±2%滿量程 | |
線性鍍 | ≤滿量程±0 5% | ≤滿量程±0 5% ＃1 | ≤滿量程±1% |
重復(fù)性 | ≤滿量程±0.2% | ||
泄漏率 | 1X10E-11 Pa.m ?/sec | ||
控制范圍 | 滿流量的2%-5% #2 | ||
壓差 | 49Kpa-275Kpa
| 69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa | 147Kpa-275Kpa
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正常工作壓 力 | 490Kpa
| ||
進氣壓力 | 980Kpa
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溫度范圍
| 5-45℃(41-113℉)
| ||
輸入電源
| +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA | +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA | |
功率 | 3.1W max | 3.5W max | |
輸入信號 | 0-5 VDC | ||
輸出型號 | 0-5 VDC | ||
控制閥形式 | 常開或常閉電磁閥 | ||
密封件 | 金屬密封 | ||
材質(zhì) | 316L，316，PTFE，不銹鋼（氟橡膠，氯丁橡膠） | ||
標準接口 | 1/4"VCR和Swagelok兼容 | 3/8"VCR,1/4"VCR | |
重量 | 1.0KG | 2.7KG | |
＃1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%
＃2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-***
＃3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa
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