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MKS真空1559A00451LG1BV流量計深圳市天鉉真空技術有限公司
2）MKS 1559A的流量控制器的接線圖：
轉換電纜的接線定義：
MKS 1559A Vogtlin GSC
15針2排公頭----------------------------------------------9孔2排的母頭
2腳0-5號反饋----------------------------------------4腳0-5號反饋
5腳0V電源接地-------------------------------------------2腳0V電源接地
7腳+15V供電----------------------------------------------3腳+15-24V供電
8腳0-5號設定----------------------------------------5腳0-5號設定
11，12腳信號公共端-------------------------------------1腳信號公共端
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