矩型磁控濺射陰極

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更新時間：2022-11-14 13:46:39瀏覽次數：178次

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冠乾科技（上海）有限公司

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產品簡介

圓柱形磁控陰極：圓柱磁控陰極在鍍膜玻璃行業得到廣泛的的信任，提供了優秀均勻性的同時實現靶材利用率

詳細介紹

圓柱形磁控陰極：

圓柱磁控陰極在鍍膜玻璃行業得到廣泛的的信任，提供了優秀均勻性的同時實現靶材利用率?，F在，結構緊湊，重量輕，經濟的圓柱形磁控陰極在平板顯示器、太陽能電池、和Web涂層應用中實現。

定制設計
    提供完整的組件，直徑從3英寸到6英寸。

經濟和兼容的投資
    采用了通用的和具有性價比的設計以適應任何類型的靶材。而且它被設計成使用現成的組件，以實現廉價的、長期的投資和可靠性。

技術
    磁體技術創建一個源和工件之間的接近正常的沉積分布。改進的沉積分布使得腔體上的碎片沉積減少。
    此外，磁鐵陣列能提供更高的磁場強度，它允許以較低的功耗來達到常規的沉積速率。

節省材料，節約能耗
    通常圓柱磁控陰極可以在相同面積上容納平面磁控陰極三倍的靶材。可進一步提升85％的靶材利用率。另外，因為工作在較低的功率下，可以降低20%的功耗。

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    致力于幫助我們的客戶開發生產力的和具有成本效益的薄膜應用，提供*的磁控陰極，高品質的沉積材料，全面的技術支持。我們隨時準備著以確保您的滿意度。