熱式氣體質量流量計
一、 工作原理：
μf感熱式芯片技術是采用大規模集成電阻的工作，保證傳感器的高度*，解決了現在傳統的熱式質量流量計無法保證其傳感器的電阻值得*性，導致傳感器在各個發現方向熱傳導速度的差異，所以傳統的熱式質量流量計在傳感器校準和使用過程中產品穩定性存在問題，實際應用中的熱式質量流量計價格昂貴，大規模應用比較難的問題。而μf干熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質量流量計，同事可靠、穩定、安全性更好。
在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這樣的橋式方式制作有利于熱傳感器，使動態響應時間大大提高。蕩傳感器工作時，微熱源與環境溫度之間保持一定得溫差，在芯片周圍形成固定的溫度場分布。
二、 產品特點：
1、 產品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現自動調節、控制閥門、無需通過二次儀表顯示。
2、 μf微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和新材料加工技術，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。
3、 微小流量氣體測量，sccm（ml/min）級的維流量測控，實現微小流量測量的數字化。
單個芯片的流量特性的微處理技術，使流量計的量程范圍大大提高。
4、 機電一體化優化設計，智能化的數據處理技術，使流量計具有更好的重復性，實現了計量的準確、可靠。
5、 結構的優化、 MFM流量計的壓力損失達到zui小化。
6、 采用的MF傳感技術，使流量計工作更穩定、可靠。
7、 *零點自校功能，測量更準確。
8、 多種氣體實際標定，全量程補償。
9、 快速響應，數字自動存儲，配合上位機可實現網絡集中管理。
10、 規格齊全，量程范圍寬，可根據用戶要求單獨標定。
11、 精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。
12、 *的流量計報警功能，使監控更可靠。
13、 操作、設置界面友好，簡便、可根據需要自行設定相關參數。
14、 運用行業多，使科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、室友化工業行業微小氣體流量控制產品升級換代的*。
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