德國(guó)MUEGGE MA3000C-403BB等離子體源適用于刻蝕沉積過(guò)程

MUEGGE GmbH是一家在工業(yè)微波技術(shù)領(lǐng)域具有國(guó)際影響力的供應(yīng)商，尤其在工業(yè)微波加熱和等離子技術(shù)方面有著顯著的專業(yè)優(yōu)勢(shì)。該公司的產(chǎn)品組合涵蓋了微波發(fā)生器、部件以及相應(yīng)的供電技術(shù)，廣泛應(yīng)用于等離子體工業(yè)、半導(dǎo)體和平板的應(yīng)用程序。

主要產(chǎn)品：

MUEGGE微波發(fā)生器

MUEGGE微波頭

MUEGGE電源

MUEGGE磁控管

MUEGGE波導(dǎo)元件

MUEGGE遠(yuǎn)程等離子體源MA3000C-403BB

MA3000C-403BB用于等離子體應(yīng)用的遠(yuǎn)程等離子體源。這款設(shè)備主要用于等離子體工藝，如刻蝕和沉積過(guò)程。

設(shè)計(jì)旨在提供高穩(wěn)定性和長(zhǎng)壽命的等離子體處理，同時(shí)確保處理結(jié)果的一致性和優(yōu)異的粒子性能。其遠(yuǎn)程等離子體源（RPS）通過(guò)在源內(nèi)產(chǎn)生高密度的中性原子（自由基），為各種應(yīng)用提供出色的工藝穩(wěn)定性，包括快速去除光刻膠和聚合物、半導(dǎo)體、氧化物和氮化物的各向同性刻蝕，以及使用PECVD沉積致密層。此外，自由基的各向同性特性為去除高摻雜光刻膠和遠(yuǎn)程腔室清潔提供了的優(yōu)勢(shì)。

類型：遠(yuǎn)程等離子體源。

應(yīng)用：適用于等離子體刻蝕和沉積過(guò)程。

耦合尺寸：KF 40。

材料：介電材料為藍(lán)寶石（Saphir）。

電源電壓：名義電壓為 230 / 208 伏特。

輸出功率：連續(xù)波（CW）下為 3000 瓦特。

頻率：2450 兆赫茲。

MA3000C-403BB 的尺寸緊湊，設(shè)計(jì)用于快速且簡(jiǎn)便地集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中。它還具有專力的 R3T 設(shè)計(jì)，優(yōu)化了高吞吐量、長(zhǎng)壽命和較低的擁有成本。

型號(hào)示例：

MUEGGE等離子體源MA3000C-403BB

MUEGGE磁控管頭MH3000S-229BB

MUEGGE微波發(fā)生器MG030KG-511KE

MUEGGE微波頭MH010KS-215BZ

MUEGGE微波頭MH010KS-250BF

MUEGGE等離子體源MA1250C-003BC

MUEGGE磁控管1200006

MUEGGE磁控管1200033

MUEGGE自動(dòng)調(diào)諧器MW2035H-230EC

MUEGGE去膠設(shè)備MA1250D-112BB

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