微型氣體質(zhì)量流量控制器是專門為各類小流量氣體的測量和控制而設(shè)計(jì)的。該系列 的傳感器均采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，結(jié)合數(shù)字信號處    理技術(shù)和流量控制算法，實(shí)現(xiàn)對各類氣體流量大小的精準(zhǔn)控制和智能化處理。

應(yīng)用領(lǐng)域：航空航天、半導(dǎo) 體加工、醫(yī)療生物、電子汽 車、鋼鐵冶金、船舶電子、 工業(yè)制氣等行

業(yè)。

二，產(chǎn)品特點(diǎn)

采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片 ，旁路分流器和電磁比例閥設(shè)計(jì)而成，傳感  器具有高精度，抗干擾性強(qiáng)特點(diǎn) ，分流器的旁路流體成層流狀態(tài)，從而使測量和控 制更加穩(wěn)定和精準(zhǔn)。電磁比例閥具有使用壽命長，靈敏度高等特點(diǎn)。

★ 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定。

★ 量程范圍內(nèi)精度高，重復(fù)性好。

★ 響應(yīng)時間快。

★ 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口，安裝方便。

★ RS485通訊輸出，標(biāo)準(zhǔn)MODBUS RTU協(xié)議。

★ 采用LCD顯示瞬時流量和累計(jì)流量，清晰直觀，讀數(shù)方便，可通過按鍵輸入控制流 量，在液晶屏上直接顯示控制流量和實(shí)時流量值

★  標(biāo)配4-20mA  輸入輸出控制。

★  可定制0-5V 或者0-10V 輸入輸出控制
三，技術(shù)參數(shù)

備注：以上數(shù)據(jù)為在25℃ ,  101.32kPa,干燥空氣下測得 其他特性