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一，產品介紹

微型氣體質量流量控制器是專門為各類小流量氣體的測量和控制而設計的。該系列的傳感器均采用先進的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，結合數字信號處理技術和流量控制算法，實現對各類氣體流量大小的精準控制和智能化處理。

應用領域：航空航天、半導體加工、醫療生物、電子汽車、鋼鐵冶金、船舶電子、工業制氣等行

業。

二，產品特點

采用微機電系統(MEMS)流量傳感芯片，旁路分流器和電磁比例閥設計而成，傳感器具有高精度，抗干擾性強特點，分流器的旁路流體成層流狀態，從而使測量和控制更加穩定和精準。電磁比例閥具有使用壽命長，靈敏度高等特點。

★ 傳感器的零點穩定。

★ 量程范圍內精度高，重復性好。

★ 響應時間快。

★ 標準機械接口，安裝方便。

★ RS485通訊輸出，標準MODBUS RTU協議。

★ 采用LCD顯示瞬時流量和累計流量，清晰直觀，讀數方便，可通過按鍵輸入控制流量，在液晶屏上直接顯示控制流量和實時流量值

★ 標配4-20mA 輸入輸出控制。

★ 可定制0-5V 或者0-10V 輸入輸出控制
三，技術參數

工作電源	DC24V/6W
精度(%)	控制精度： ±1.0% SP，測量精度0-50L/min 1%fs 大于50L/min 1.5fs%
控制和測量量程比	1： 100
閥類型	常閉型
工作溫度	-10~55℃
濕度	<95%RH(無結霜，無結冰)
工作壓力范圍	測量：0-1.5MPA 控制： 100SCCM-30SPLM 壓力：0.1-1.0MPA 100SPLM 壓力：0.1-0.65MPA 300SPLM 壓力：0.1-0.5MPA
典型的控制響應時間	小于1S （T90）

測量響應時間	<50mS
輸出方式	4-20mA 或者1-5V
通訊方式	RS485(Modbus Rtu協議)
控制方式	按鍵操作,Modbus,4-20mA(1-5V)，可定制0-5V
機械連接	G1/4, PT1/2 內螺紋
防護等級	IP40

備注：以上數據為在25℃ , 101.32kPa,干燥空氣下測得其他特性

可選擇標況溫度條件	0°, 20°, 25°,用戶可調，默認 25°
可選擇氣體類型	Air, N2, O2, CH4, Ar, CO2, He, H2 ，C3H8
工作壓差	50 SPLM 0.1MPA -0.7MPA 100SPLM 0.1MPA-0.6MPA 300SPLM 0.1MPA -0.4MPA