智能手機/芯片封裝（微米級別）無損檢測

超聲顯微鏡（SAM）是一種利用高頻超聲波探測樣品內部結構的無損檢測設備?。其原理基于壓電換能器發射超聲波，經聲學透鏡聚焦后通過耦合介質（如水）傳遞至樣品，通過接收反射/透射信號生成圖像，可分層顯示微米級缺陷（如分層、裂紋、空洞等）?。

1、規格參數：

2、三大優勢：

①?微電子領域可非破壞性檢測集成電路多層結構?；②材料科學中無需拋光即可顯示晶界等微觀特征；③生物醫學領域可進行活體組織觀察。憑借其多樣化的成像模式，能夠深入物質內部，以微米級的分辨率揭示微觀結構特征，為科研人員和技術人員提供了精準、詳盡的分析依據。

3、應用領域：

案例：

①晶圓鍵合檢測：

晶圓鍵合技術在芯片制造中至關重要。超聲顯微鏡通過高分辨率成像,檢測鍵合界面中的空洞、裂紋及分層情況提供全面的無損評估，幫助生產者優化工藝參數，確保高密度芯片的高良率生產。

②電路芯片成像：

通過高頻超聲波穿透芯片表面，對內部電路結構進行分層成像，能夠檢測電路中的微米級缺陷，如裂紋、分層、空洞、雜質等。

③封裝芯片成像：

在芯片封裝環節，SAM主要用于檢測焊接貼裝缺陷，如銀漿或軟焊料焊接產生的分層、空洞等。通過反射波信號差異識別分層缺陷，自動計算缺陷面積及占比，輔助質量控制。

④芯片貼片：

檢測焊料與基板間的貼裝偏移、虛焊、氣泡等問題，批量掃描托盤中的多個樣品，高效在線檢測。

⑤IGBT模塊成像：

IGBT模塊作為功率電子核心組件，其焊層質量和內部結構直接影響車規級性能要求。超聲顯微鏡可無損檢測焊層空洞、分層及其他缺陷，精準評估關鍵風險，幫助制造商確保模塊滿足車規級高可靠性標準。

⑥手機膠線/缺陷自動檢測：

通過超聲波反射信號分析膠線的均勻性及粘接界面是否存在分層或氣泡，確保結構可靠性；以及表面與內部缺陷檢測。

⑦新能源汽車水冷板檢測：

液冷散熱器廣泛應用于新能源汽車和功率電子等領域，作為功率半導體模塊的散熱部分，其高效的熱量傳導可保證設備的穩定運行。超聲顯微鏡能夠精準檢測液冷散熱器中的缺陷，如焊接空洞和流道堵塞等，特別適用于真空回流焊或銀燒結工藝中的質量控制，確保其在高負荷下的散熱效能和可靠性。