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真空濺射的應用范圍

時間:2013/8/21閱讀:2446
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工業部門
應用實例
備注
電子工業
半導體材料、電介質材料、導電材料、超導材料、太陽能電池、集成線路及電路元件等
低基片溫度
機械工業
耐蝕、耐熱、耐摩擦性能保護性材料等
厚膜
光學工業
反射膜、選擇性透光膜、光集積回路、反射鏡保護膜
低基片溫度
裝飾
塑料涂層、陶瓷涂層、彩虹包裝等
厚膜
航天及交通
導電玻璃
擋風玻璃
電子工業:半導體材料、電介質材料、導電材料、超導材料、太陽能電池、集成線路及電路元件等。低基片溫度
機械工業:耐蝕、耐熱、耐摩擦性能保護性材料等。厚膜
光學工業:反射膜、選擇性透光膜、光集積回路、反射鏡保護膜。低基片溫度
裝飾:塑料涂層、陶瓷涂層、彩虹包裝等。厚膜
航天及交通:導電玻璃。擋風玻璃

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