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PEV-1美國HEY壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場合，主要應用領域包括: 磁控濺射，光學鍍膜，太陽能電池，ITO，等離子體刻蝕等。
VCC500控制器和VDM005-X壓電陶瓷閥組成的壓強控制儀配套復合真空規管使用,可自動控制充氣量及壓強的變化。速度快,精度高,可靠性好。
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