真空鐘擺閥是一種通過圓形閥板做 “鐘擺式擺動" 實現真空隔離/流量控制的閥門，一般作為大口徑節流閥安裝在真空腔體和渦輪分子泵入口之間，通常應用于FPD、SEMI、Solar和PV行業的真空鍍膜系統。
鐘擺閥安裝位置-真空泵與工藝腔之間
目前的鐘擺閥設計均采用鍍鎳或硬質陽極氧化工藝來防腐蝕和減少灰塵，考慮到擺閥尺寸巨大，閥體大多采用鋁制金屬以減少重量和制造成本，可在氣動或APC模式下運行，其中APC鐘擺閥可以實現真空隔離的同時，也能實現中下游端的精準壓力控制。
氣動鐘擺閥 APC壓力控制鐘擺閥
-日揚APC鐘擺閥-
• 設計緊湊，振動小，啟閉運動平穩
• 抗腐蝕，低粉塵，精準的壓力控制
• 可定制尺寸，最大可達ISO500
• 模塊化設計，易于拆卸方便維護
• 控制精度可達最大量程的0.1%
APC控制擺閥可以在真空系統中實現高效、穩定的壓力控制，憑借其低污染、快響應、易維護等特點，已成為高精密真空系統的標準配置。日揚已為不同行業客戶定制研發多款APC鐘擺閥，適配越來越復雜的真空工藝需求，成功實現國產代替。
—APC鐘擺閥展出現場—
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