C系列質量流量控制器

C系列質量流量控制器（MFC）是緊湊且快速響應型，用于非腐蝕性氣體，流量從50SCCM至50SLM，范圍從滿量程0.1%至。控制方式有0至5VDC模擬和RS485，所需電源電壓為24VDC。

C系列質量流量計尺寸為：長5.02英寸(127.5mm) ，寬1英寸(25.4mm)，高4.33英寸(109.98mm)，氣路轉接，下載版本及可用。

MEMS低熱式質量傳感器提供快速檢測流量變化和低噪聲輸出，傳感器的固態設計使其能抵抗水凝結粒子，壓力沖擊和振動。

快速響應，寬動態控制范圍，1%精度，在無腐蝕性工藝應用中的佳選擇。用于質譜、真空鍍膜、生物反應及多種應用。

C系列融合了快速反應的電磁控制閥與流量傳感器，通過MFC優化流量耦合信號處理與控制算法，使得響應時間小于100毫秒。