IMM-100薄膜沉積監測儀

通過精確率和厚度監測實現可重復 保護并增加您的利潤 IMM-100 是一款采用 ModeLock 技術構建的沉積監測儀，可最大限度地提高再現性和均勻性，同時提供最高的厚度精度、的測量分辨率和zuidi的速率噪聲。

內置振蕩器時，IMM-100 可以輕松地集成到 EtherCAT 系統中，只需極少的硬件和占地面積。這款功能強大且精確的測量監視器肯定會為您的過程帶來新的性能水平。

功能

• INFICON ModeLock 技術提供最長的晶體壽命，并確保zuiwending、最高分辨率和厚度測量，即使在非常低的速率下也是如此

• 通過的 QCM 厚度測量實現產量zuidahua

• 單通道速率和厚度監測儀，無需不必要的附加功能，以最大限度地降低成本

• ±0.0035 Hz 超過 100 ms 采樣

• 用于無縫集成的 EtherCAT 通信

• 緊湊的尺寸，通過節省工具空間來最大限度地降低集成成本

• 專家應用支持，能夠討論dute的應用需求，并提供比競爭對手更大的支持

• 符合 RoHS 標準

典型應用

• 發光二極管應用