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Htc真空鐘擺閥具有高性能真空壓力控制系統，控制節流擺閥板可做開關動作，調整閘板開口大小及調整壓力(手動), 主要設計用來取代傳統的線性作動真空閘閥，以更少的移動零件、更少金屬與金屬間的摩擦，就能讓粉塵減少。以Htc日揚真空鐘擺閥的安裝也比傳統的真空閘閥方式只需要更少的空間即能便利安裝。
真空鐘擺閥的應用
高科技制程后段壓力控制和隔離閥
應用產業
>> SEMI - 半導體
>> FPD - 光電面板
>> CVD - 化學氣相沉積
>> Solar - 太陽能
APC鐘擺閥特點
集成整合壓力控制
精確的壓力控制
密實的隔離
反應時間快
友善簡易操作使用接口
材質 | 本體 | A6061-T6 | ||
閥板 | A6061-T6 | |||
開關壽命 | 200,000 cycles | |||
氦氣泄漏率 (一大氣壓壓差) | 本體 鋁合金 | ＜1×10-9 mbar .l /sec | ||
本體 鋁合金 ,超硬陽極處理 | ＜1×10-5 mbar .l /sec | |||
烘烤溫度 | 本體 | ≤ 120 ℃ | ||
驅動器 | ≤ 80 ℃ | |||
電磁閥 | ≤ 50 ℃ | |||
壓力范圍 | 鋁合金 | 1×10-8 mbar to 1.2 bar | ||
鋁合金 ,超硬陽極處理 | 1×10-6 mbar to 1.2 bar | |||
最大壓差 | 1.2 bar | |||
開啟前壓差 | ≤ 5 mbar | |||
壓縮空氣壓力 | 4 ~ 6 Kg/cm2 | |||
開 / 關時間(秒) | ISO 200 | ISO 250 | ISO 320 | |
1.2/1.2 | 1.2/1.2 | 2.0/2.0 | ||
密封圈材質 | 閥板 | Viton O-ring 密封圈 | ||
閥蓋 | Viton O-ring 密封圈 | |||
驅動器 | 氣動氣缸與手動旋鈕 | |||
重量 | ISO 200 | ISO 250 | ISO 320 | |
22Kg | 32Kg | 52Kg | ||
安裝位置 | 水平或垂直 | |||
選配 | a. 其他密封圈材質 | |||
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