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深圳市科銳詩汀科技有限公司
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真空矩形閥

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具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌其他品牌

廠商性質代理商

所  在  地深圳市

更新時間:2025-04-21 10:24:03瀏覽次數:2008次

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產地 進口 加工定制
真空矩形閥廣泛應用于半導體、光電產業之鍍膜設備,安裝于生產線與過渡腔室(load-lock chamber),過渡腔室(load-lock chamber)與傳輸系統(handling system),傳輸系統(handling system)與制程腔室(process chamber)等需要真空與壓力分隔的地方。

產品應用

Htc真空矩形閥是采用了直連驅動技術的真空閥,外形尺寸小,設計緊湊,所有動件皆位于大氣側因而與真空側隔絕,可減少粉塵產生,并提升產品的使用壽命。另外還有無氣壓時的封合自鎖保護,封板快速拆裝設計易維修等優點。


設計原理/特征

l   低振動及低粉塵設計(Low vibration and Low particle)

l   利用凸輪機構與彈簧完成封板封合動作。

l   雙氣壓缸、單出力軸驅動。

l   驅動軸桿封合頂緊輔助裝置。

l   無氣壓時的封合自鎖保護裝置。

l   封板快速拆裝設計,方便O-ring維修更換。

l   100 萬周期壽命。


真空矩形閥分類

l   標準型矩形閘閥(Standard Rectangular Transfer valves)

l   標準型矩形門型閘閥(Rectangular doors)

l   大型矩形閘閥(Large rectangular transfer valves)

l   大型矩形門型閘閥(Large rectangular doors)


Body 材質

鋁合金或不銹鋼(Aluminum or Stainless)

Body 表面處理

電解拋光 or 鋁硬陽處理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)
























































































































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