OPG550光學等離子真空計介紹

INFICON Augent™光學等離子體真空計是一種緊湊型智能真空監(jiān)測解決方案。體積小巧的Augent™集兩種傳感器技術于一身。進行氣體類型監(jiān)測時，壓力測量范圍為1 × 10-7至5毫巴；總壓力測量范圍可達1 × 10-7毫巴至大氣壓。Augent™自帶具有保護作用的皮拉尼傳感器，當壓力超出20巴時可以關閉等離子體。在1 × 10-7至5毫巴的測量范圍內，該儀表可用于檢測氧氣、氮氣、氫氣或氬氣等氣體。

優(yōu)勢

• 高速檢漏，可進行試驗箱泄漏檢查

• 提高生產率和產量

• 使用壽命長，燈絲不易燒毀，防空氣侵入

• 耐過程化學腐蝕

• 采用智能算法，易于集成

• 結構緊湊，空間占用小

• 啟動快速可靠

應用范圍

• 試驗箱泄漏檢查，提供更快的RoR (上升速率)試驗速度

• 進行泄漏檢查，以查找供氣管路的內部泄漏

• 實時端點控制

• 氣體類型和濃度控制

具體詳情介紹請見附件內容！