帶集成源控制的 HVPS/SC 高壓電源

性能強(qiáng)大，設(shè)計小巧
HVPS/SC 是固態(tài)高壓電源，具有在電子束 (e-beam) 真空沉積系統(tǒng)中使用的集成源控制器。 其革命性的設(shè)計使其成為市場上zui小、zui有效并且功能豐富的高壓電源之一。
性能強(qiáng)大
HVPS/SC 具有 4 至 10.2 千伏的可調(diào)輸出電壓以及 10 至 999 毫安的可調(diào)發(fā)射電流。 這使其兼容各種電子槍。 零電壓開關(guān) (ZVS) 技術(shù)和接近 1 的功率因數(shù)可幫助 HVPS/SC 實現(xiàn)超過 90% 的效率，具有小于 1% 的發(fā)射電流紋波，從而獲得精密可靠的電子束。
經(jīng)久耐用
HVPS/SC 非常堅固可靠。 設(shè)計為連續(xù)工作和/或連續(xù)電弧，在 15 毫秒內(nèi)就可實現(xiàn)*電弧恢復(fù)。存儲能量在 10 千瓦下低至小于 2 焦耳，從而有助于快速消除電弧并將對速率控制的影響降到zui低。 每個 HVPS/SC 均經(jīng)過全面測試和強(qiáng)化測試，以確保正常運行和耐用性。
設(shè)計小巧，易于集成
HVPS/SC 將電源和源控制器通過“直接到燈絲"的設(shè)計相結(jié)合，無需外部燈絲變壓器。 這一設(shè)計使得占用的機(jī)架空間比多數(shù)競爭對手的電源和源控制器少一半有余，可以輕松集成到工具中。 通過標(biāo)準(zhǔn) USB、RS-232 和 RS-485 連接即可連接到 PC 或 PLC。

功能

·         4 至 10.2 千伏輸出電壓，10 至 999 毫安發(fā)射電流輸出

·         超低存儲能量（10 千瓦輸出下小于 2 焦耳）

·         12 伏，70 安集成絲極電源用于調(diào)節(jié)發(fā)射

·         功率因數(shù)接近 1 且 >90% 的效率

·         精確： <1% 紋波和調(diào)節(jié)

·         快速電弧響應(yīng)： 約 15 毫秒內(nèi)*電弧恢復(fù)

·         堅固耐用： 適合連續(xù)工作和在連續(xù)電弧下工作，或兩者之間的任何情況

·         短路/過熱/過電壓保護(hù)

·         結(jié)構(gòu)緊湊： 高度為 3U

·         可編程電弧率閾值和電弧延遲

·         集成源控制（燈絲電流電源）和燈絲變壓器，易于安裝

·         集成電源線路濾波器

典型應(yīng)用

·         單槍電子束沉積系統(tǒng)

·         雙槍電子束沉積系統(tǒng)（需要兩個 HVPS/SC）