柜式臭氧消毒器由無油空機、、空氣干燥機、臭氧放電室、高壓電源、靜態混合器、控制系統等部分組成。

臭氧是氧的同素異性體，常溫下是一種不穩定的淡紫色氣體，有刺激腥味，微量時具有一種“清新”氣味。臭氧具有*的氧化能力，在水中的氧化還原電位 2.07V ，僅次于氟電位 2.87V ，居第二位，它的氧化能力高于氯（ 1.36V ）、二氧化氯（ 1.5V ）。正因為臭氧具有強烈的氧化性，所以它對細菌、霉菌、病毒具有強烈的殺滅性，這種作用通常是物理、化學、生物學方面的綜合效果。臭氧滅活病毒是通過直接破壞或分解細胞壁，迅速擴散進入細胞里，氧化了細胞內酶或 RNA、DNA物質完成的.臭氧很容易同細菌的細胞壁中的脂蛋白或細胞膜中的磷脂質、蛋白質發生化學反應，從而使細菌的細胞壁和細胞受到破壞（即所謂的溶菌作用），細胞膜的通透性增加，細胞內物質外流，使其失去活性。
　　柜式臭氧消毒器設備內的空氣干燥器以美國進口沸石分子篩為吸附劑，用變壓吸附法（ PSA ）將空氣中的氧氣與氮氣分離，并濾除空氣中的有害物質，從而獲取富氧氣，并大大提高臭氧產量、純度和效率。然后，通過氣液混合泵加靜態混合器的氣水強力混合把高濃度的臭氧充分溶解在水中，形成具有殺菌消毒能力的高濃度臭氧水（臭氧和臭氧在水中分解的中間產物氫氧氧基（OH）協同作用，具有很強的氧化性可以殺菌、消毒，而且反應安全、速度快、無殘留。）。