現在都采用第五種方式，它由一套臭氧發生器產生臭氧可同時供多個車間使用。流程如下： 

空壓機-富氧機-臭氧發生器-空調總送風管-各凈化區。

臭氧發生器把產生的臭氧用尼龍管直接引到送風主管道中，利用HVAC系統中凈化風機產生的壓力風源，擴散至所控制的整個潔凈區域，此安裝方法對新建、改建廠房均適用。

對沒有HVAC系統的房間，可以把臭氧直接通到房間內，利用內循環，把臭氧擴散至整個房間，同樣也可。

臭氧發生器使用環境選型：

一、食品廠、飲料廠消毒：車間、庫房、包裝材料間、緩沖間、更衣室、實驗室、工作服、生產器具等；

二、制藥廠(生物制品廠)消毒：無菌車間、庫房、 緩沖間、更衣室、實驗室、工作間等

三、衛生用品廠消毒：生產車間、包裝車間、庫房、工作服等。

四、家用滅菌消毒：果蔬消毒、廚房消毒、房間除煙味、裝修房去油漆味、衛生間廁所去臭味異味

五、醫院消毒：手術室、供應室、制劑室、病房、治療室、門診室、注射室、洗手間、醫療器械及用品等

六、血站消毒：采血室、無菌室、血庫等；

七、養殖業消毒：室內養雞廠、動物飼養廠、無菌接種、栽培等

八、機關單位、學校、幼兒園：辦公室、教室、會議室、禮堂、餐廳、宿舍、娛樂室、餐具、玩具、浴室等 ；

九、公共場所消毒：影院、賓館、飯店、娛樂廳、發廊、美容院、卡拉OK廳等 ；

十、倉庫保鮮消毒：糧食、禽蛋、中草藥、水果、蔬菜、水產品、肉制品等；

十一、功能間消毒：銀行金庫、政府機關、各企事業單位、工廠等 ；

十二、檔案室、庫房、圖書館消毒：檔案殺菌防霉、驅蟲、防蛀、滅蟲卵和有效清除異味等；