臭氧發生器發生臭氧能力在很大程度上受氣源的濕度、冷卻水溫度、放電面的老化等影響，所以要經常對臭氧濃度進行檢測。對大型臭氧設備，在流程中裝有高濃度臭氧（氣體）檢測儀，并有檢測混合后水的溶存臭氧檢測儀，還有檢測排放的尾氣中所含臭氧濃度的檢測儀。以便控制整個系統處在*工作狀態。
臭氧濃度檢測方法大致可分為“化學分析法”、“物理分析法”、“物理化學分析法”三類。
化學檢測法1 碘量法
碘量法是zui常用的臭氧測定方法，我國和許多國家均把此法作為測定氣體臭氧的標準方法，我國建設部發布的《臭氧發生器臭氧濃度、產量、電耗的測量》標準 CJ/T 3028.2 — 94 中即規定使用碘量法。其原理為強氧化劑臭氧（ O 3 ）與*（ KI ）水溶液反應生成游離碘（ I 2 ）。臭氧還原為氧氣。反應式為：
O 3 + 2KI + H 2 O → O 2 + I 2 + 2KOH
游離碘顯色，依在水中濃度由低至高呈淺黃至深紅色。
利用*（ NaS 2 O 3 ）標準液滴定，游離碘變為*（ NaI ），反應終點為*褪色止。反應式為： I 2 + 2Na 2 S 2 O 3 → 2NaI + NaS 4 O 6
兩反應式建立起 O 3 反應量與 NaS 2 O 3 消耗量的定量關系為 1molO 3 ： 2mol NaS 2 O 3 ，則臭氧濃度 C O3 計算式為：
C O3 =40x3x1000/1000 （ mg/L ）
式中：
C O3 ——臭氧濃度， mg/L ；
A Na ——*標準液用量， ml ；
B ——*標準液濃度， mol/L ；
V 0 ——臭氧化氣體取樣體積， ml 。
操作程序及方法參照標準 CJ/T3028.2 — 94 。
測定標準型發生器濃度很方便。臭氧化氣體積用流量計計數， NaS 2 O 3 濃度一般配制為 0.100mol/L ，測定精度可達± 1% 。
測定空氣中臭氧濃度時，應用在氣采樣器抽氣定量。為保證測定精度， NaS 2 O 3 配為 0.10mol/L 。
測定水溶臭氧濃度亦可用此公式計算，只是 V 0 代表采水量，取 1000ml 。 NaS 2 O 3 濃度為 0.10mol/L 。
碘量法優點為顯色直觀。不需要貴重儀器。缺點是易受其氧化劑如 NO 、 CI 2 等物質的干擾，在重要檢測時應減除其它氧化物質的影響。
2 比色法
比色法是根據臭氧與不同化學試劑的顯色或脫色反應程度來確定臭氧濃度的方法。按比色手段分為人工色樣比色與光度計色 . 此法多用于檢測水溶解臭氧濃度 . 國內檢測瓶裝水臭氧溶解濃度有使用*、鄰聯甲胺等比色液的。其方式是利用檢測樣品顯色液管相比較，確定測樣臭氧溶解度值（ 0.05~0.08mg/L ） , 要求的，則利用分光光度計檢測。 國外利用此法做成儀器，配制標準工具與藥品作為現場抽檢使用，很方便。如美國 HACH 公司、日本荏原公司的 DPD （二己基對苯二胺）比色盤，范圍為 0.05~2mg/L 。美國 HACH 公司微型比色儀，利用靛藍染料脫色反應。在 600nm 波長比色， 0.05~0.75nm/L 濃度數字顯示，精度± 0.01nm/L 。受其它氧化劑干擾少。
3 檢測管
將臭氧氧化可變化試劑浸漬在載體上，作為反應劑封裝在標準內徑的玻璃管內做成測管，使用時將檢測管兩端切斷，把抽氣器接到檢測管出氣端吸取定量臭氧氣體，臭氧濃度與檢測管內反應劑柱變色長度成正比，通過刻度值讀取濃度值。 德國、日本和我國都生產臭氧檢測管，濃度范圍分為高（ 1000ppm ）、中（ 10ppm ）、低（ 3ppm ）三種，用于檢測空氣臭氧濃度，適于現場應用，使用簡便，但精度低（為± 15% ）。
