物理方法分析臭氧現在在上zui流行的是紫外線吸收法。它是利用臭氧對 254nm 波長的紫外線特征吸收的特性，依據比爾—郎伯（ Beer-Lambert ）定律制造出的分析儀器，只要選擇合適長度的吸收池，就可以檢測 0.002mg/m3~5% （ vol ）濃度的臭氧。其線形在 4~5 個數量級內都很好。該法已被我國作為環境空氣中測定臭氧的標準方法（ GB1/T1154348 ）。 
      紫外線吸收法不但可以適用于檢測氣體中臭氧濃度，也可以檢測水中溶存的臭氧濃度。 紫外線吸收法的儀器在美國、的國、瑞士、日本都有產品。我國北京分析儀器廠于 1985 年引進了美國莫尼特（ MONITOR LABS ）公司的 ML-8810 型紫外吸收式臭氧分析器，用于環境檢測， 1992 年以后又陸續擴展量程到 100ppm 、 1000ppm 。北京超能自控實驗技術研究所在 1999 年開發了 ZX-01 系列紫外線吸收式臭氧分析器，其測量范圍從 0~10ppm （用于環境檢測）、 0~100ppm 、 0~1000ppm 、 0~10000ppm 到 0~25000ppm 。

紫外線吸收法原理

輻射被某種氣體或液體吸收是受朗伯 - 比爾（ Lambert Beer ）定律控制的：

I = I o e – klc

式中 I o —— 入射光束的強度；

I—— 光束穿透樣品（氣體或液體）后的強度；

l—— 通過樣品光程的長度；

c—— 樣品內吸收物質的濃度；

k—— 吸收物質對該光線波長的比吸收系數。

此種檢測需要對物質在已知波長下 k 值的了解。

臭氧檢測 
   臭氧吸收短波紫外區（ 200~300nm ）哈特雷波段紫外光，在 253.7nm 處具有zui大吸收 。在此波長，吸收系數值的范圍從 303.9 到 313.2cm -1 • mol -1 • L （ 273K 和 760mmHg ），研究者證實了該值為 302.4cm -1 • mol -1 • L 。