紫外臭氧清洗機 型號：DP-UV2

概述

紫外臭氧清洗機是一種干法清洗設(shè)備，可用于清洗多種單晶基片，以成好的成膜質(zhì)量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。

紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）；所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

參數(shù) 指標(biāo)

材質(zhì) 內(nèi)部采用不銹鋼材料

結(jié)構(gòu) 抽屜式樣品臺，取、放基板簡單、方便

氣路 預(yù)留進(jìn)氣接口，豐富設(shè)備的清洗種類

保護(hù) 抽屜開合與UV燈工作互鎖，避免紫外線傷害

計時 按鍵定時器，數(shù)顯倒計時，放便直觀

操作 清洗工作進(jìn)程可以任意時間手動終止

可選配件 可選臭氧中和器，避免臭氧傷害

電氣 指標(biāo)

清洗波段 185nm和254nm

距離UV燈3-5mm平均光強 28~32mW/cm2

燈管 雙波低壓汞燈X2

燈管功率 300W

燈管尺寸 300mm×300mm

照射區(qū)域 300mm×300mm（基臺尺寸305×340mm）

可調(diào)照射距離 5~60mm

定時器工作范圍 0~99min99s  具有自動倒計時功能

機械 指標(biāo)

進(jìn)、出氣口 進(jìn)氣口：φ8mm，出氣口：φ50mm

設(shè)備外型尺寸 

長（ 430mm）×寬（ 380mm）×高（ 320mm）

（含臭氧中和器的尺寸為）長580mm×寬380mm×高420mm

重量 26KG