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東莞市豪恩檢測(cè)儀器有限公司(武漢分公司)
中級(jí)會(huì)員 | 第13年

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真空高溫烘箱

真空烘箱真空泵:旋片泵、干式泵、分子泵對(duì)比

時(shí)間:2025/4/7閱讀:360
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真空烘箱的真空泵類型及特點(diǎn)

真空泵是真空烘箱的核心部件,其類型直接影響烘箱的極限真空度、抽氣速率及適用場(chǎng)景。以下是常見的真空泵類型及其特點(diǎn):


一、機(jī)械式真空泵

1. 旋片式真空泵

  • 原理:通過轉(zhuǎn)子與定子間的偏心結(jié)構(gòu),利用旋片滑動(dòng)壓縮氣體。

  • 特點(diǎn)

    • 優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、抽氣速率快(適合中真空范圍)。

    • 缺點(diǎn):需定期更換真空泵油,高溫下油易碳化,反油可能污染樣品。

  • 適用場(chǎng)景:實(shí)驗(yàn)室常規(guī)干燥、低溫烘干(<100℃)。

2. 羅茨泵(機(jī)械增壓泵)

  • 原理:通過兩個(gè)同步反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子壓縮氣體。

  • 特點(diǎn)

    • 優(yōu)點(diǎn):抽氣速率高、耐高溫、無油污染。

    • 缺點(diǎn):需搭配前級(jí)泵(如旋片泵)使用,單獨(dú)無法達(dá)到高真空。

  • 適用場(chǎng)景:工業(yè)級(jí)高溫烘干、高真空需求(如10?3 Pa)。

3. 滑閥泵

  • 原理:通過滑閥在氣缸內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)壓縮氣體。

  • 特點(diǎn)

    • 優(yōu)點(diǎn):耐粉塵、耐腐蝕,適合含少量顆粒的氣體。

    • 缺點(diǎn):結(jié)構(gòu)復(fù)雜,維護(hù)成本高。

  • 適用場(chǎng)景:含溶劑蒸氣或粉塵的烘干工藝。


二、干式真空泵

1. 爪式泵

  • 原理:通過一對(duì)同步反向旋轉(zhuǎn)的爪型轉(zhuǎn)子壓縮氣體。

  • 特點(diǎn)

    • 優(yōu)點(diǎn):無油污染、耐高溫、低噪音。

    • 缺點(diǎn):價(jià)格較高,抽氣速率低于旋片泵。

  • 適用場(chǎng)景:醫(yī)藥、電子等對(duì)潔凈度要求高的行業(yè)。

2. 螺桿泵

  • 原理:通過一對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子嚙合壓縮氣體。

  • 特點(diǎn)

    • 優(yōu)點(diǎn):無油、抽氣速率高、運(yùn)行穩(wěn)定。

    • 缺點(diǎn):成本高,需專業(yè)維護(hù)。

  • 適用場(chǎng)景:連續(xù)生產(chǎn)、高溫烘干(>150℃)。

3. 渦旋泵

  • 原理:通過動(dòng)渦旋盤與靜渦旋盤的相對(duì)運(yùn)動(dòng)壓縮氣體。

  • 特點(diǎn)

    • 優(yōu)點(diǎn):無油、體積小、噪音低。

    • 缺點(diǎn):抽氣速率低,適合小流量應(yīng)用。

  • 適用場(chǎng)景:實(shí)驗(yàn)室小型烘箱、精密儀器。


三、分子泵

  • 原理:通過高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將氣體分子定向排出。

  • 特點(diǎn)

    • 優(yōu)點(diǎn):極限真空度高(可達(dá)10?? Pa)、無油污染。

    • 缺點(diǎn):需搭配前級(jí)泵使用。

  • 適用場(chǎng)景:超高真空烘干(如半導(dǎo)體、納米材料)。


四、其他類型真空泵

1. 擴(kuò)散泵

  • 原理:通過高溫油蒸汽攜帶氣體分子排出。

  • 特點(diǎn)

    • 優(yōu)點(diǎn):極限真空度高(10?? Pa)。

    • 缺點(diǎn):需定期更換泵油,啟動(dòng)時(shí)間長。

  • 適用場(chǎng)景:科研級(jí)高真空烘干。

2. 液環(huán)泵

  • 原理:通過葉輪旋轉(zhuǎn)在泵體內(nèi)形成液環(huán)壓縮氣體。

  • 特點(diǎn)

    • 優(yōu)點(diǎn):耐腐蝕、抽氣速率穩(wěn)定。

    • 缺點(diǎn):需消耗大量工作液(如水)。

  • 適用場(chǎng)景:含腐蝕性氣體的烘干工藝。


五、不同真空泵的對(duì)比總結(jié)


類型極限真空度抽氣速率油污染維護(hù)成本適用場(chǎng)景
旋片泵10?2 Pa實(shí)驗(yàn)室常規(guī)干燥
羅茨泵10?1 Pa
工業(yè)級(jí)高溫烘干
爪式泵10?3 Pa醫(yī)藥、電子潔凈烘干
分子泵10?? Pa半導(dǎo)體、納米材料超高真空烘干
擴(kuò)散泵10?? Pa科研級(jí)高真空烘干



六、選型建議

  1. 低溫烘干(<100℃):優(yōu)先選擇旋片泵或干式泵(如爪式泵)。

  2. 高溫烘干(>150℃):推薦羅茨泵+旋片泵組合或螺桿泵。

  3. 潔凈度要求高:選用干式泵(如爪式泵、螺桿泵)。

  4. 超高真空需求:必須搭配分子泵或擴(kuò)散泵。

提示:實(shí)際選型需根據(jù)工藝需求、預(yù)算及維護(hù)能力綜合評(píng)估,必要時(shí)可聯(lián)系廠家進(jìn)行技術(shù)咨詢。


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