KEYSIGHT吉時(shí)利5位半6517B靜電計(jì)/高阻表

關(guān)鍵詞：靜電計(jì)，高阻表，電荷，電阻率，電阻

KEYSIGHT吉時(shí)利5位半6517B靜電計(jì)/高阻表提供的精度和靈敏度指標(biāo)高于其他同類型儀表。它還具有完備的功能，使測(cè)量高阻和絕緣材料電阻率變得簡(jiǎn)單。6517B具有425讀數(shù)/秒的測(cè)試速率，比同類型的靜電計(jì)快很多，可以提供快速、簡(jiǎn)易的弱電流測(cè)量能力測(cè)量弱電流。出眾的性能指標(biāo)半機(jī)架型6517B靜電計(jì)/高阻表具有特殊的低電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對(duì)于接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測(cè)量的輸入阻抗是200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、測(cè)量范圍寬

6517B主要應(yīng)用領(lǐng)域：

1、非常適合物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域的低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測(cè)量。

2、其極低的電壓降非常適合太陽(yáng)能電池測(cè)量，其內(nèi)置電壓源和低電流靈敏度使之成為基于聚合物的納米線等高阻測(cè)量的出眾解決方案。

3、其高速和易用性使之成為質(zhì)量控制、產(chǎn)品工程和生產(chǎn)測(cè)試（包括漏流、擊穿和電阻測(cè)試）應(yīng)用的選擇。

4、利用6517B型靜電計(jì)/高阻表的電壓反轉(zhuǎn)方法，可以大幅改進(jìn)對(duì)絕緣材料的體電阻率和表面電阻率測(cè)量。

5、還非常適合電化學(xué)應(yīng)用，如離子選擇性電極和pH測(cè)量、電導(dǎo)電池和電勢(shì)測(cè)定。

6517B型靜電計(jì)/高阻表具有全自動(dòng)量程，超過電流、電阻、電壓和電荷測(cè)量滿

量程及主要技術(shù)參數(shù)：

• 電流測(cè)量范圍：1fA - 20mA

• 電壓測(cè)量范圍：10μV - 200V

• 電阻測(cè)量范圍：50Ω - 1016Ω

• 電荷測(cè)量范圍：10fC - 2μC

• 電阻測(cè)量可達(dá)1016 Ω

• 電流測(cè)量范圍1fA - 20mA

• 最小電流量程輸入端壓降<20µV

• 200TΩ 輸入阻抗

• <3fA 偏置電流

• 測(cè)試速率高達(dá) 425 rdgs/s

• 噪聲0.75fA p-p

• 內(nèi)置±1kV電壓源

• 高電阻測(cè)量電壓反接方法

• 可選的插件式掃描卡

改進(jìn)的高靈敏度測(cè)量

許多測(cè)試應(yīng)用要求測(cè)量高級(jí)別材料的電阻率（面電阻率和體電阻率）。傳統(tǒng)測(cè)

量方法是對(duì)樣本施加足夠高的電壓，測(cè)量流經(jīng)樣本的電流，然后利用歐姆定律(R=V

/I)計(jì)算其電阻。雖然高阻材料和器件產(chǎn)生很小的電流，很難準(zhǔn)確進(jìn)行測(cè)量，但利用

吉時(shí)利靜電計(jì)和皮安計(jì)則可以成功地進(jìn)行這種測(cè)量。

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即使利用高精度儀器，材料中固有的背景電流使得進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量較為

困難。由于壓電效應(yīng)、電容效應(yīng)和偏振效應(yīng)，絕緣材料、聚合物和塑料通

常都顯示出背景電流。這些背景電流一般等于或大于施加電壓產(chǎn)生的電流。

在這些情況下，其測(cè)量結(jié)果往往是不穩(wěn)定的，生成不準(zhǔn)確的電阻或電阻率

讀數(shù)甚至錯(cuò)誤的負(fù)值。吉時(shí)利 6517B型靜電計(jì)/高阻表旨在解決這些問題，

并為各種材料和元件提供一致、可重復(fù)和精準(zhǔn)的測(cè)量，特別是與8009型電

阻測(cè)試夾具一起使用時(shí)。

變換極性法

6517B型靜電計(jì)/高阻表使用變換電極法，實(shí)際上消除了樣本的背景電

流。并剔除背景電流的級(jí)和第二級(jí)漂移。變換電極法施加一個(gè)正極性

電壓，然后在延遲（測(cè)量時(shí)間）后測(cè)量電流。接著，改變電壓極性，

使用相同的延遲，重新測(cè)量電流。連續(xù)重復(fù)這個(gè)過程，并根據(jù)4個(gè)電

流測(cè)量結(jié)果的加權(quán)平均值計(jì)算出電阻。對(duì)大多數(shù)材料來說，通過7次反轉(zhuǎn)(即

舍棄前三個(gè)讀數(shù))，這個(gè)方法通常生成可高度重復(fù)、準(zhǔn)確的電阻（或電阻

率）測(cè)量結(jié)果。例如，利用8009型測(cè)試夾具0.3%的重復(fù)度，可對(duì)1mm厚

的1014Ω-cm材料樣本進(jìn)行測(cè)量，在15秒測(cè)試周期內(nèi)其背景電流低于200fA